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深耕工艺!克力高精密环境系统助力半导体产业高质量发展

来源: 发布时间:2026-01-16

在半导体芯片制造领域,精密工艺对环境的要求极高。从晶圆光刻、蚀刻到芯片封装测试,温度与湿度的微小波动,成为影响产品良率的关键隐患。高精密恒温恒湿空调系统作为制造装备,为半导体产业稳定量产及“中国芯”自主化发展提供坚实的环境保障。

Part01 半导体行业痛点

半导体制造对环境的敏感度远超常规工业场景,温度波动易导致晶圆热膨胀系数偏移,引发光刻套刻误差,直接造成芯片电路故障;湿度管控不当则风险叠加——湿度过高时,水蒸气在晶圆表面凝结,导致光刻胶涂布不均、金属引线氧化,造成良率下滑;湿度过低易产生静电,击穿敏感器件,引发产品缺陷。

依据ISO 5级洁净车间标准,半导体制程需将温度稳定在22±0.5℃、相对湿度控制在45±5%RH;先进制程对环境精度的要求更为严苛,传统空调的粗放式调控已无法适配产业升级需求。

Part02 克力解决方案

针对半导体行业的环境需求,克力高精密恒温恒湿环境控制系统依托“感知-解析-执行”全链路自研技术,重构精密环境控制标准,实现从被动调控向主动预判的跨越。

“感知”,自主研发的超高精密传感器堪称“环境监测利器”。经国家计量检测机构认证,测温精度达±0.001℃,可实时捕捉参数细微波动,规避外部干扰,提供可靠原始数据,该精度已跻身国内行业。

“智能解析”,超高精密控制器凭借自研智能算法与传感反馈机制,实现毫秒级响应,精准匹配不同工艺需求。多项发明专利与软件著作权的加持,既保障了技术合规性,也以标准化行业发展。

“协同执行”,超高精密执行器与传感器、控制器深度协同,构建闭环执行体系。以毫秒级速度将调控指令转化为实际动作,实时修正参数偏差,确保系统稳定在预设高精度区间。

Part03 全产业链赋能

凭借技术创新、定制化方案与全周期服务,克力空调的环控系统已深度服务全球众多领域。不仅成为多家芯片半导体企业及重点实验室的合作伙伴,还深度服务于光学、航空航天、精密制造、等行业,为科研攻关与规模化生产提供稳定环境保障。自研的智能调控算法与节能技术,实现了高精度与低能耗的平衡,满足不同场景的个性化需求。

作为精密环境控制领域的企业,克力空调以参数树立行业新。未来,公司将持续秉持技术理念,深耕技术研发,突破精度边界。通过推出更多质量产品与服务,行业向更高精度标准迈进,为全球半导体及制造业的创新发展,注入稳定、高效的环境动力,助力产业实现质量与效率的双重提升。



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