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​碳化硅陶瓷崩边?试试专门用金属结合剂金刚石砂轮!

来源: 发布时间:2025-12-08


  一、碳化硅陶瓷加工之痛:崩边、裂纹与良品率困局

  碳化硅陶瓷(SiC)凭借高硬度(莫氏硬度9.5)、高导热性(热导率490W/m·K)和耐腐蚀性,成为半导体晶圆载具、航空航天轴承、核能部件等高级领域的关键材料。然而,其加工过程却面临三大难题,导致生产成本居高不下:

  1. 材料脆性高,崩边缺陷频发

  碳化硅陶瓷的断裂韧性只3.5-4.5MPa·m¹/²,只为钢材的1/10.在磨削、切割等加工中,局部应力集中易引发微裂纹扩展,导致边缘崩缺。某半导体设备厂商反馈,其碳化硅晶圆载具加工中,崩边深度超0.1mm即需报废,而传统砂轮加工的崩边率高达40%,单件报废成本超2000元。

  2. 磨削力波动大,表面质量不稳定

  碳化硅陶瓷的磨削过程伴随剧烈的塑性变形与脆性断裂,传统砂轮(如树脂结合剂砂轮)磨粒易钝化,导致切削力波动超30%。这种波动会引发加工振动,使表面粗糙度Ra从0.2μm恶化至0.8μm,需额外增加抛光工序,单件加工时间延长50%。

  3. 砂轮寿命短,综合成本高企

  普通砂轮加工碳化硅时,磨粒磨损速度快,结合剂易被陶瓷颗粒划伤,导致砂轮整体失效。实验数据显示,树脂结合剂砂轮加工碳化硅的寿命只80-120分钟,而单次更换砂轮需停机30分钟,日均停机时间达2-3小时,设备利用率不足75%。

  “碳化硅陶瓷加工是典型的‘高难度、高成本、低效率’场景,行业迫切需要一种能兼顾‘保形性’与‘寿命’的磨削工具。”中国机械工程学会磨料磨具分会专业人士指出。

  二、金属结合剂金刚石砂轮:以“刚”克“脆”的技术突破

  针对碳化硅陶瓷的加工痛点,上海橄榄精密工具有限公司(以下简称“上海橄榄”)研发的专门用于金属结合剂金刚石砂轮,通过材料创新与结构优化,实现了“零崩边、高效率、长寿命”的突破。其技术路线可拆解为三大关键:

  1. 金属结合剂:高刚性支撑,抑制裂纹扩展

  传统砂轮的结合剂(树脂或陶瓷)弹性模量低(树脂约3-5GPa),无法有效约束磨粒,加工中易因振动导致裂纹萌生。而上海橄榄采用的铜基-镍基复合金属结合剂,弹性模量达120-150GPa,接近钢材水平,可形成“刚性支撑框架”,将磨削力均匀分散至砂轮整体,避免局部应力集中。

  “我们的结合剂中添加了纳米级碳化钨颗粒,形成‘硬质相-韧性相’复合结构,既保证刚性,又提升抗冲击性。”上海橄榄技术总监解释道。实验表明,其砂轮加工碳化硅时,裂纹扩展速率较传统砂轮降低70%,崩边深度控制在0.02mm以内,达到半导体行业“零缺陷”标准。

  2. 微米级金刚石磨粒:锋利切削,减少材料损伤

  上海橄榄选用粒径5-15μm的微米级金刚石磨粒,其切削刃密度是传统砂轮(粒径30-50μm)的5-8倍。高密度切削刃可分散单位面积的磨削力,将单点压力从50N降至10N以下,减少陶瓷材料的脆性断裂。

  同时,其采用“有序排布”技术,通过激光定位将磨粒按特定间距嵌入结合剂,避免传统砂轮“随机分布”导致的切削力波动。测试数据显示,有序排布砂轮的加工表面粗糙度Ra稳定在0.1-0.2μm,较传统砂轮提升3倍,可直接满足半导体载具的表面精度要求。

  3. 梯度孔隙结构:排屑畅、散热快,延长砂轮寿命

  加工碳化硅时,磨屑(主要为SiC微粉)易堵塞砂轮孔隙,导致磨粒钝化与结合剂磨损加速。上海橄榄开发的梯度孔隙砂轮,通过三层结构设计解决这一问题:

  表层:密集微孔(孔径10-30μm),形成“滤网效应”,阻止大尺寸磨屑进入内部;

  中层:螺旋通道(孔径50-100μm),引导磨屑沿特定路径排出,减少堵塞;

  底层:大尺寸腔体(孔径200-500μm),作为冷却液储池,降低加工区温度(从300℃降至150℃),抑制热应力导致的结合剂开裂。

  “这种结构使砂轮寿命提升至400-500分钟,是传统砂轮的3-5倍,且加工过程中无需频繁修整,设备利用率提升至90%以上。”上海橄榄研发经理表示。

  三、技术升级:从“单一性能”到“综合效能”

  金属结合剂金刚石砂轮的“刚性优势”不仅解决了崩边问题,更通过减少停机、提升质量、降低能耗等维度,实现综合成本的大幅下降。

  1. 减少停机时间:生产效率翻倍

  以半导体晶圆载具加工为例,使用传统砂轮时,每日需停机修整砂轮3次(每次20分钟),年停机时间超240小时;而上海橄榄的金属结合剂砂轮可连续运行500分钟无需修整,设备利用率从75%提升至92%,单线年产能增加40%。

  2. 提升加工质量:良品率突破95%

  金属结合剂砂轮的刚性支撑与锋利切削,使碳化硅陶瓷的加工表面裂纹密度从每平方毫米12条降至2条,崩边率从40%降至5%以下。某航空航天企业反馈,其轴承套圈加工中,使用上海橄榄砂轮后,产品合格率从82%提升至97%,每年减少报废损失超500万元。

  3. 降低能耗与耗材:综合成本下降35%

  传统砂轮加工碳化硅需频繁更换砂轮(日均2-3次)与修整工具,并消耗大量冷却液;而金属结合剂砂轮的长寿命与自锐性减少了这些支出。某光伏企业测算,使用上海橄榄的砂轮后,单件加工成本从18元降至11.7元,降幅达35%,其中砂轮费用占比从50%降至20%。

  四、企业底蕴:15年深耕,铸就碳化硅加工技术标准

  上海橄榄精密工具的前身为1958年成立的上海砂轮厂,2008年改制后聚焦高级超硬材料工具领域。其位于上海浦东新区南汇工业园区的生产基地,引进德国全自动压机、瑞士激光检测仪等设备,形成从原料配比、热压成型到精密加工的全链条控制。

  技术壁垒:18项技术构筑护城河

  公司每年投入营收的12%用于研发,拥有单独的实验室与25人技术团队,已取得发明专利6项、实用新型专利12项,其中“高刚性金属结合剂金刚石砂轮及其制备方法”获国家知识产权局中国技术优良奖。其产品通过ISO9001质量管理体系与ISO14001环境管理体系认证,并主导制定《碳化硅陶瓷加工用金刚石砂轮》团体标准。

  服务网络:全球72小时响应机制

  上海橄榄在国内设立华东、华南、华北三大服务中心,并在东南亚、欧洲布局代理渠道,承诺“72小时现场服务响应”。其“智能选型系统”可根据客户工件材料、加工设备等参数,自动推荐砂轮型号与工艺方案,某客户评价:“从需求提交到方案确认只需3小时,比国际品牌高效4倍。”

  五、行业影响:从“国产替代”到“全球指引”

  据QYResearch数据,2025年全球碳化硅陶瓷加工工具市场规模将达8亿美元,其中金刚石砂轮占比超60%。上海橄榄的产品已覆盖半导体、航空航天、光伏等8个高级制造领域,其技术优势在多个场景中得到验证:

  半导体行业:晶圆载具加工崩边率≤0.02mm,表面粗糙度Ra≤0.2μm,良品率从70%提升至95%;

  航空航天:轴承套圈加工裂纹密度降低80%,寿命从5000小时提升至1.2万小时;

  光伏行业:硅片切割线耗从0.3m/片降至0.18m/片,切割速度从15m/s提升至25m/s。

  “我们已与多家国际头部企业建立长期合作,产品出口至德国、日本、韩国等15个国家。”上海橄榄总经理表示,未来三年计划投入3000万元建设智能工厂,实现从“卖产品”到“卖技术解决方案”的转型,目标成为全球碳化硅加工工具领域的“技术定义者”。

  六、未来展望:AI赋能,砂轮进入“自适应加工”时代

  上海橄榄正推进两大前沿技术,进一步优化碳化硅加工效能:

  智能监测砂轮:内置传感器实时监测磨削力、振动、温度等数据,并通过5G传输至云端,联动加工设备自动调整参数(如进给速度、冷却液流量),避免崩边风险;

  自修复结合剂:研发可逆性金属结合剂,在磨粒部分脱落时通过热处理释放储备磨粒,实现砂轮“寿命无限延伸”。

  “我们的目标是让砂轮从‘被动加工’变为‘主动适应’,较终实现碳化硅陶瓷的‘零缺陷、高效率、低成本’加工。”上海橄榄技术团队透露,其一款智能砂轮原型机已进入测试阶段,预计2026年实现量产。

  结语:一粒砂轮,撬动高级制造升级

  从半导体晶圆的精密载具到航空航天的高温轴承,碳化硅陶瓷的加工精度正成为衡量国家制造业水平的关键指标。上海橄榄精密工具用15年的技术沉淀与创新突破,证明了中国企业在高级磨削工具领域不仅能实现进口替代,更能以“刚性变革”指引全球行业标准。当智能制造的浪潮席卷而来,这粒“工业牙齿”的进化,正悄然改写着高级制造的效率与成本方程式。



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