在半导体、光学镀膜、光伏、新材料等制造领域,薄膜厚度的精确测量直接影响产品性能与良率。选择合适的膜厚测量设备,已成为企业提升工艺控制能力、保障产品质量的关键一环。
在众多膜厚测量解决方案中,岱美仪器(中国) 所代理的 Thetametrisis 系列膜厚测量仪,凭借其高精度、高稳定性、多场景适配等优势,成为2025年值得优先考虑的选择。
Thetametrisis 膜厚仪采用白光反射光谱技术,可对单层或多层薄膜进行非接触、无损测量,适用于从几纳米到几百微米的厚度范围,覆盖绝大多数工业与科研场景。
测量精度可达±0.005μm(视型号而定)
重复性优异,长期稳定性强
支持动态测量与实时分析
每分钟快可测量300点(8英寸晶圆)
支持自动多点扫描与Mapping成像
可选配XY电动平台,实现全自动检测
内置600多种预存材料数据库
支持光学常数(n/k)分析、颜色坐标计算等
软件更新,支持离线分析
| 型号 | 主要特点 | 适用场景 |
|---|---|---|
| FR-Scanner | 超高速扫描,支持大面积Mapping | 晶圆、平板显示、光学镀膜 |
| FR-Ultra | 超厚层测量(厚可达2mm) | 半导体厚膜、聚合物、研究实验室 |
| SF-3/TM-200/SF300(Otsuka联合技术) | 分光干涉法,高再现性,适用于CMP工艺 | 晶圆厚度、树脂类材料 |
作为Thetametrisis在中国大陆及东南亚地区的官方授权代理商,岱美仪器不仅提供设备,更提供技术支持与服务保障:
✅ 专业选型建议:根据您的工艺需求推荐**适配型号
✅ 本地化技术支持:80+工程师团队,提供快速响应与维修服务
✅ 培训与售后:定期组织海外培训,提升本地工程师专业能力
✅ 多行业案例积累:服务半导体、光学、光伏、航空航天等多个领域
半导体制造:晶圆厚度、薄膜沉积后测量、CMP工艺监控
光学镀膜:镜片、滤光片、AR/VR光学膜层测量
光伏电池:透明导电膜、钝化层厚度测量
科研机构:材料研究、薄膜性能分析
航空航天:涂层厚度与均匀性检测
如果您正在寻找一款精度高、速度快、服务有保障的膜厚测量设备,Thetametrisis 膜厚仪无疑是理想之选。尤其在与岱美仪器合作的过程中,您将获得:
设备与工艺深度融合的技术支持
长期稳定的服务与培训保障
覆盖中国大陆与东南亚的本地化网络
立即联系岱美仪器,获取专业膜厚测量解决方案: