北京InGaAs EMMI服务

EMMI 处理多组同批次失效样品，批量开展 EMMI 观测，可以统计发光点位分布规律，一批次工艺问题带来失效，很多失效样品 EMMI 发光点位会集中在版图相同位置；如果各个样品 EMMI 发光点位散乱随机分布，失效诱因偏向随机因素，和批量工艺波动关联性较弱。汇总多份 EMMI 图像的点位信息，统计点位出现频次，把高频出现区域提取出来，反馈给工艺研发团队，为工艺问题溯源提供线索。批量样品 EMMI 测试时，尽量维持采集参数一致，保障各组 EMMI 图像之间具备对比基础。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统支持点位导出汇总，方便统计批量样品 EMMI 观测得到的点位分布。非接触EMMI仪器采用红外窗口设计，可安全检测通电芯片。北京InGaAs EMMI服务

EMMI 观察器件热载流子损伤，器件发生热载流子损伤之后，晶体管性能发生退化，部分损伤会形成漏电路径，产生光子，EMMI 能够捕捉对应的发光信号。热载流子损伤大多发生在晶体管沟道边缘位置，EMMI 标记出光斑之后，对照版图确认光斑对应晶体管单元。很多轻微热载流子退化，不会形成明显漏电通道，没有光子向外发射，此时 EMMI 图像看不到发光，就无法依靠 EMMI 定位，需要结合其他电性表征手段。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统，支持开展热载流子损伤样品的 EMMI 观测工作。北京IGBT EMMI检测系统芯片EMMI应用在开发阶段用于评估设计缺陷。

EMMI 软件的图像缩放查看功能，方便使用者仔细观察 EMMI 图像局部细节，整张 EMMI 全景图像尺寸很大，直接完整查看很难看清每一处微弱光斑，把感兴趣区域放大，观察光斑形态、光斑边缘，分辨是真实失效发光，还是噪声聚集形成伪光斑。噪声造成伪光斑一般形态细碎杂乱，真实缺陷发光光斑形态相对集中，放大 EMMI 图像观察光斑形态，是判读 EMMI 图像的基础步骤。放大查看只是软件层面显示缩放，不会提升 EMMI 图像本身物理分辨率，想要看清样品上更小尺度，需要切换更高倍率镜头重新采集 EMMI 图像。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统软件支持多级缩放，浏览 EMMI 图像局部细节。

EMMI 测试的积分时间参数，是使用者做 EMMI 采集时需要重点调试的设置，EMMI 探测器需要累积足够数量的光子，才可以生成信噪比合适的图像。积分时间设置偏短，收集到光子数量不足，EMMI 图像会充斥大量背景噪声，微弱缺陷发光被噪声掩盖，很难识别；积分时间设置过长，一方面会拉长 EMMI 测试耗时，另一方面持续通电会让器件持续发热，部分器件还会出现光信号饱和，画面细节丢失。不同样品的发光强度差异很大，漏电严重的失效点位发光更强，可以选用较短积分时间，微弱漏电的失效点位，就需要拉长积分时间完成信号累积。很多场景下，分析人员会设置多档不同积分时间，采集多组 EMMI 图像做对比筛选。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统软件支持自动多帧叠加，辅助使用者提升 EMMI 图像信噪比。制冷型EMMI通过低温控制降低背景噪声，让微光成像更稳定。

EMMI 系统软件版本更新，会优化 EMMI 图像算法、修复软件逻辑，设备投入使用之后，会陆续推出软件更新包。更新软件前，做好当前案例 EMMI 原始图像备份，防止更新过程当中数据出现意外。软件更新完成，不要直接开展重要样品 EMMI 测试，使用标准参考样片采集一组 EMMI 图像，核对更新之后成像、配准、导出功能都正常，确认系统表现和更新前一致，再处理实际样品。苏州致晟光电科技有限公司会给到使用者软件版本更新操作建议，保障更新之后 EMMI 系统稳定工作。晶圆EMMI缺陷检测帮助生产线快速发现批次异常。安徽高灵敏度EMMI成像

EMMI技术支持为使用者提供设备调试、数据培训等帮助。北京InGaAs EMMI服务

EMMI 的对焦品质直接决定 EMMI 图像清晰度，样品表面不在镜头焦平面，明场图像变得模糊，EMMI 发光图像同样会虚化，缺陷发光光斑弥散扩大，信号分散到多个像素，EMMI 图像信噪比下降。样品表面不平整、样品放置倾斜、样品台高度偏移，都会造成对焦失准。正式启动 EMMI 长积分采集之前，先完成明场对焦，确认图像清晰锐利，再开启 EMMI 发光图像采集。遇到表面高低落差大的样品，局部区域对焦清晰，其他区域脱离焦平面，可以选择感兴趣的关键失效区域，以该区域完成对焦，保障重点位置 EMMI 图像品质。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统具备辅助对焦功能，帮助使用者快速完成样品对焦，保障 EMMI 图像清晰度。北京InGaAs EMMI服务

苏州致晟光电科技有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在江苏省等地区的机械及行业设备中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，苏州致晟光电供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！