ThermalEMMI 软件的图像相减运算,支持将良品基准热图像从失效样品 ThermalEMMI 图像当中扣除,ThermalEMMI 可以抵消器件本身功耗带来的本征温升,ThermalEMMI 凸...
LIT技术在电源管理芯片的失效分析中具有应用。电源管理芯片承载着电压转换和电流调节的功能,内部集成了功率晶体管和控制电路。LIT系统对芯片施加工作电压和负载电流,捕获其表面的热分布。芯片内部的功率晶体...
ThermalEMMI 观察基板漏电类失效时,需要分辨 ThermalEMMI 热点来自芯片裸片区域还是封装基板,部分样品失效根源不在芯片裸片,而是基板走线、过孔发生漏电,漏电位置通电产生焦耳热,同样...
在PCB制造过程中的质量检测环节,LIT技术能够对线路板的导通性和绝缘性进行非接触式验证。系统通过对PCB施加电激励,捕获线路表面的热响应分布。LIT技术可识别线路中的微短路、开路、阻抗不连续等问题。...
EMMI 在器件可靠性摸底试验中,可以用来观察应力累积过程当中发光变化,器件逐步施加递增的电压或者电流应力,每施加一档应力,就做一轮 EMMI 成像,记录不同应力水平下 EMMI 图像。随着应力提升,...
EMMI 测试中,器件的自加热会造成 EMMI 信号随时间漂移,器件通电之后,电流流过器件会产生热量,器件温度逐步上升,半导体器件漏电特性随温度改变,缺陷位置光子发射效率随之改变,在持续采集 EMMI...
EMMI 平台运动控制精度,对 EMMI 大视场拼接成像、定点重复观测起到重要作用,EMMI 经常需要观察尺寸超出单镜头视场的芯片,依靠精密样品台带动样品移动,分块采集图像之后拼接为完整 EMMI 全...
EMMI 在器件可靠性摸底试验中,可以用来观察应力累积过程当中发光变化,器件逐步施加递增的电压或者电流应力,每施加一档应力,就做一轮 EMMI 成像,记录不同应力水平下 EMMI 图像。随着应力提升,...
EMMI 处理多组同批次失效样品,批量开展 EMMI 观测,可以统计发光点位分布规律,一批次工艺问题带来失效,很多失效样品 EMMI 发光点位会集中在版图相同位置;如果各个样品 EMMI 发光点位散乱...
EMMI 在光电器件失效分析当中拥有应用,部分光电器件内部出现漏电、局部损伤,器件通电后损伤位置会产生光子,EMMI 可以捕捉这类信号定位异常区域。光电器件本身设计上就会向外发光,器件正常工作就存在本...
ThermalEMMI 面对传感器芯片失效分析,像素单元漏电损伤之后,通电产生局部温升,ThermalEMMI 可以标记存在异常发热的像素位置,ThermalEMMI 借助大视场扫描浏览大片像素阵列,...
EMMI 在分析闩锁效应相关失效当中具备独特价值,CMOS 器件发生闩锁效应之后,器件内部形成低阻导通路径,会出现大电流,导通区域会向外释放光子,EMMI 可以捕捉这类发光,定位闩锁效应触发的区域。闩...
EMMI 系统探测器窗口需要保持洁净,探测器前方保护窗口如果沾染灰尘、污渍,会遮挡入射光子,EMMI 图像上出现固定形状暗斑,无论更换什么样品,暗斑始终出现在 EMMI 图像同一像素位置,这类固定暗斑...
ThermalEMMI 测试中探针打火会带来瞬时发热,探针接触不稳定时,会出现电弧放电,瞬间产生局部高温,在 ThermalEMMI 图像生成伪热点,这类伪信号和器件内部失效无关,会干扰 Therma...
半导体器件在工作时释放的热辐射信号极为微弱,常规检测手段难以捕捉。ThermalEMMI通过深制冷型InGaAs探测器,将探测器工作温度降至极低水平,明显降低暗电流与热噪声。ThermalEMMI的关...
EMMI 的暗帧图像用来扣除探测器基线噪声,做 EMMI 正式采集之后,采集一组快门关闭状态暗帧图像,暗帧记录探测器自身基线噪声,将正式 EMMI 图像减去暗帧,能够扣除一部分探测器固有噪声,改善 E...
EMMI 观察器件热载流子损伤,器件发生热载流子损伤之后,晶体管性能发生退化,部分损伤会形成漏电路径,产生光子,EMMI 能够捕捉对应的发光信号。热载流子损伤大多发生在晶体管沟道边缘位置,EMMI 标...
EMMI 案例复盘的时候,要完整回看整套 EMMI 测试过程,不能只看一张结果图片,复盘案例,除查看 EMMI 图像,还要回看不同激励条件下全部 EMMI 图像,回看原始灰度数据,回看测试记录表单。有...
ThermalEMMI 图像出现像素饱和,意味着该位置接收到的红外辐射超出探测器像素记录上限,ThermalEMMI 饱和区域丢失灰度梯度信息,ThermalEMMI 无法对比饱和区域在不同激励条件下...
EMMI 图像导出版图叠加文件,能够把 EMMI 发光点位直接投射到芯片电路版图之上,版图文件记录芯片晶体管、走线布局,把 EMMI 图像和版图完成空间配准叠加之后,发光光斑就映射到版图对应电路图形上...
ThermalEMMI 测试过程中,不建议盲目加大激励条件试图得到热点信号,部分操作人员遇到 ThermalEMMI 看不到热点,就持续抬升电压电流,希望逼迫器件产生温升信号。超出器件规格的激励,很容...
ThermalEMMI 设备探测器窗口沾染灰尘或者污渍,会在全部 ThermalEMMI 图像上面形成位置固定的暗斑,无论更换哪一块样品,暗斑始终停留在图像相同像素位置,ThermalEMMI 出现这...
ThermalEMMI 软件的项目化管理功能,可以把同一个分析案例下面全部 ThermalEMMI 热图像、明场图像、测试参数、样品备注统一归类存放,ThermalEMMI 便于后续查阅和复盘案例。失...
LIT技术在数字芯片的失效分析中具有应用。数字芯片集成度高、晶体管数量庞大,失效分析面临挑战。LIT系统对芯片施加工作电压和测试向量,捕获其表面的热分布。数字芯片在特定工作模式下,缺陷区域会产生特征...
EMMI 测试记录需要写明样品基础信息,一份完整 EMMI 测试记录,要记录样品编号、样品来源、样品封装形态、样品经历过的试验条件,再附上 EMMI 测试施加的电学条件、积分时间、镜头倍率、滤光片型号...
ThermalEMMI 针对存储器芯片开展失效分析,ThermalEMMI 可以检出存储单元漏电、阵列走线短路带来的局部温升,ThermalEMMI 借助大视场扫描快速浏览整片存储阵列,Thermal...
ThermalEMMI 对同批次多只失效样品批量扫描之后,可以汇总全部样品 ThermalEMMI 得到的热点位置,统计热点的分布频次,ThermalEMMI 可以看出失效点位倾向于集中在特定电路区域...
EMMI 结合显微红外成像,两套成像叠加在一起,EMMI 标记载流子复合发光点位,红外成像记录器件热分布,两套图像同时参考,可以区分是漏电带来载流子复合发光,还是单纯发热却没有漏电发光的区域。部分区域...
ThermalEMMI 软件的 ROI 感兴趣区域功能,可以限定 ThermalEMMI 探测器的读取范围,ThermalEMMI 不再采集完整视场像素,只读取选定区域的数据,ThermalEMMI ...
EMMI 开展晶圆级样品检测时,会遇到批量样品观测的需求,EMMI 可以针对整片晶圆上的多个裸片依次完成成像,对比良品与不良品之间 EMMI 图像的差异。晶圆上部分裸片存在发光斑点,同晶圆其他良品裸片...