江苏电源芯片EMMI失效分析

EMMI 处理多组同批次失效样品，批量开展 EMMI 观测，可以统计发光点位分布规律，一批次工艺问题带来失效，很多失效样品 EMMI 发光点位会集中在版图相同位置；如果各个样品 EMMI 发光点位散乱随机分布，失效诱因偏向随机因素，和批量工艺波动关联性较弱。汇总多份 EMMI 图像的点位信息，统计点位出现频次，把高频出现区域提取出来，反馈给工艺研发团队，为工艺问题溯源提供线索。批量样品 EMMI 测试时，尽量维持采集参数一致，保障各组 EMMI 图像之间具备对比基础。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统支持点位导出汇总，方便统计批量样品 EMMI 观测得到的点位分布。EMMI测试常用于芯片验证阶段，用以检测潜在漏电通道。江苏电源芯片EMMI失效分析

EMMI 设备腔体内部清洁度需要维持，EMMI 成像腔体是样品成像的空间，腔体内部掉落碎屑、灰尘颗粒，如果颗粒落在光学路径之上，会遮挡部分光线，EMMI 图像上面会出现暗斑；颗粒落到样品台表面，样品放置之后发生倾斜，改变样品相对镜头的距离，EMMI 成像对焦出现偏移，图像清晰度下降。日常更换样品的时候，留意不要掉落碎片进入腔体，定期清理腔体内部杂物，清理时注意保护 EMMI 系统内部镜头、探测器组件，不要触碰光学元件表面。苏州致晟光电科技有限公司会向使用者介绍 EMMI 腔体日常清洁的操作要点，规避异物给 EMMI 成像带来不良影响。四川高精度EMMI原理半导体EMMI能精确捕捉芯片异常发光，为工程师提供清晰的失效分析依据。

EMMI 在功率器件失效定位领域拥有应用场景，MOS 管、IGBT 这类功率器件发生栅氧击穿、漏电通道形成之后，失效位置会向外释放光子，EMMI 能够捕捉这类光信号，锁定芯片内部异常区域。功率器件测试时会施加相对更高电压与电流，开展 EMMI 测试时，需要做好电学回路管控，防止施加激励时出现器件二次损坏，一旦器件损伤状态发生改变，EMMI 记录到的就不是原始失效特征。功率芯片面积通常偏大，单帧视场无法覆盖全部芯片，EMMI 依靠图像拼接生成完整视场，观察整个芯片范围之内的发光分布。部分功率器件封装带有金属散热层，金属层会遮挡光子传播路径，开展 EMMI 之前要评估封装结构，判断是否需要做开模处理。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统适配功率器件的 EMMI 观测，兼顾大尺寸样品成像与电学条件管控。

EMMI 面对倒装封装芯片，光子需要向下穿过硅衬底，才可以抵达 EMMI 探测器，倒装芯片电路面向封装基板，硅衬底朝向镜头，失效发生在电路层，光子需要穿透硅衬底。硅材料对近红外光子存在吸收，衬底越厚，光子被吸收越多，能够抵达 EMMI 探测器光子数量越少，EMMI 信号强度被削弱。部分波长光子更容易穿透硅衬底，可以选用适配滤光片，优先选取穿透性更好波段，提升 EMMI 采集到信号。衬底太厚导致信号衰减过于严重的情况下，可以做衬底减薄处理，降低光子传播路径上硅材料厚度。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统配套文档，讲解倒装芯片开展 EMMI 观测的技术要点。EMMI故障分析结合红外成像，为复杂电路提供双重验证。

EMMI 系统软件版本更新，会优化 EMMI 图像算法、修复软件逻辑，设备投入使用之后，会陆续推出软件更新包。更新软件前，做好当前案例 EMMI 原始图像备份，防止更新过程当中数据出现意外。软件更新完成，不要直接开展重要样品 EMMI 测试，使用标准参考样片采集一组 EMMI 图像，核对更新之后成像、配准、导出功能都正常，确认系统表现和更新前一致，再处理实际样品。苏州致晟光电科技有限公司会给到使用者软件版本更新操作建议，保障更新之后 EMMI 系统稳定工作。晶圆EMMI可定位电路层内的漏电点，为后续修复提供精确坐标。河南功率器件EMMI仪器

EMMI服务团队支持远程诊断和现场调试，响应灵活。江苏电源芯片EMMI失效分析

EMMI 在器件可靠性摸底试验中，可以用来观察应力累积过程当中发光变化，器件逐步施加递增的电压或者电流应力，每施加一档应力，就做一轮 EMMI 成像，记录不同应力水平下 EMMI 图像。随着应力提升，器件内部逐步出现损伤，EMMI 图像上会逐步出现发光斑点，发光亮度伴随应力变大不断提升。借助多组应力梯度对应的 EMMI 图像，能够观察损伤演化过程，找到发光开始出现对应的应力等级，为器件耐受能力评估提供参考。这个过程当中要把控应力步长，步长过大，容易直接造成器件彻底烧毁，错过中间阶段 EMMI 图像记录。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统可以搭配阶梯应力输出，逐档完成 EMMI 图像记录。江苏电源芯片EMMI失效分析

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