汽车电子EMMI短路定位

EMMI 测试中，器件的自加热会造成 EMMI 信号随时间漂移，器件通电之后，电流流过器件会产生热量，器件温度逐步上升，半导体器件漏电特性随温度改变，缺陷位置光子发射效率随之改变，在持续采集 EMMI 图像的过程中，同一个失效点位，前后 EMMI 图像光斑亮度发生变化。想要规避自加热带来影响，一种方式是采用脉冲激励，器件只在很短脉冲周期之内通电，其余时间断电，减少热量累积；另一种方式控制单次通电时间，采集完一组 EMMI 图像，断电等待器件冷却，再开展下一组条件测试。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统支持对接脉冲激励源，实现脉冲条件下 EMMI 图像采集。高灵敏度EMMI可捕捉极微弱的光子信号，用于精密缺陷分析。汽车电子EMMI短路定位

EMMI 探针台的适配能力，会影响 EMMI 可以处理的样品种类，EMMI 开展测试需要给待测器件施加电学激励，裸片样品大多依靠探针接触芯片焊盘完成信号接入。探针数量、探针移动行程、探针可施加压力范围，决定 EMMI 可以支持什么样的芯片焊盘排布。多引脚复杂芯片，需要多根探针同时接触不同焊盘，施加多路偏置条件，探针台可以支持多路探针，才可以复现芯片完整工作状态，让 EMMI 采集对应失效发光。探针针尖状态也很关键，针尖磨损、氧化，会带来接触电阻波动，电学激励不稳定，器件失效无法稳定复现，EMMI 图像就会出现光斑忽明忽暗。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统可搭配多通道探针组件，满足多样样品的 EMMI 电学接入需求。广东半导体EMMI设备IC EMMI规格涵盖光谱响应范围和像素密度两大指标。

EMMI 测试时样品台温度变化会带来热胀冷缩，金属样品台随温度改变发生微小形变，带动样品位置出现偏移。EMMI 长时间采集、设备腔体内部温度发生波动，都会引发样品台形变，造成 EMMI 采集过程中样品坐标漂移。尽量维持设备腔体内部温度稳定，减少温度起伏；对于耗时很长 EMMI 测试，可以分段采集，每采集完一小段，重新确认样品对焦与位置，修正漂移带来位置偏差，保障 EMMI 图像点位坐标准确度。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统腔体带有温度监测，便于使用者掌握腔体内部温度变化情况。

EMMI 在芯片可靠性验证项目中承担失效定位任务，芯片完成可靠性应力试验之后，部分样品出现功能失效，分析人员会使用 EMMI 对失效样品开展检测，查找应力诱发的器件损伤点位。可靠性试验带来的损伤类型多样，静电损伤、热应力损伤、电迁移损伤，部分损伤模式会伴随光子发射，能够被 EMMI 捕捉到发光信号。通过统计多只失效样品的 EMMI 图像，可以观察失效点位集中出现在芯片哪些电路区域，反馈给设计与工艺团队，评估芯片对应结构的耐受水平。部分可靠性失效属于间歇性故障，样品脱离应力条件之后失效现象消失，EMMI 就很难复现发光，这就要求尽量在失效还可以复现的条件下完成 EMMI 测试。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统可以对接可靠性测试的电学激励，支撑可靠性失效样品的 EMMI 定位。EMMI技术支持为使用者提供设备调试、数据培训等帮助。

EMMI 设备放置位置需要远离振动源，EMMI 系统内部包含高倍率光学镜头和精密样品台，外界振动传递到设备，会造成样品和镜头之间微小相对晃动，EMMI 长积分成像过程中，晃动会让图像模糊，光斑发生拖尾，降低 EMMI 图像品质。设备摆放避开大型电机、冲压设备、频繁走动通道，设备底座做好减振处理，削弱外界振动传导。环境振动较大时，哪怕明场看起来图像尚可，长积分 EMMI 发光图像依旧会出现虚化，很难采集高质量 EMMI 图像。苏州致晟光电科技有限公司给到 EMMI 设备安装选址参考，帮助使用者挑选振动水平合适位置安放设备。电源芯片EMMI解决方案整合多波段探测，提高判读准确性。河南智能EMMI失效分析

EMMI缺陷检测为晶圆厂提供批量验证工具，确保出货一致性。汽车电子EMMI短路定位

EMMI 的偏移校正功能用来修正 EMMI 发光图像与明场图像之间的固有偏差，因为 EMMI 发光成像光路和明场观测光路路径不完全等同，即便样品没有移动，明场下看到位置，和 EMMI 图像发光位置天然存在小幅偏移。不做偏移校正，直接把 EMMI 发光图叠加到明场版图上，发光点就会出现错位，点位坐标存在误差。设备出厂以及做完光路维护之后，都要使用标准参考样片完成偏移校正，软件记录偏移参数，后续每一次 EMMI 图像生成，系统自动套用参数完成补偿，保证 EMMI 发光点位坐标和明场坐标对齐。使用者每隔一段时间可以拿标准样片复测，确认 EMMI 偏移参数没有发生漂移。苏州致晟光电科技有限公司的 EMMI 系统内置偏移校正工具，简化 EMMI 图像配准的操作难度。汽车电子EMMI短路定位

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