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企业商机 - 广东省科学院半导体研究所
  • 重庆芯片光刻 发布时间:2026.02.28

    当图形尺寸大于3μm时,湿法刻蚀广用于半导体生产的图形化过程。湿法刻蚀具有非常好的选择性和高刻蚀速率,这根据刻蚀剂的温度和厚度而定。比如,氢氟酸(HF)刻蚀二氧化硅的速度很快,但如果单独使用却很难刻蚀...

  • 山东LPCVD真空镀膜 发布时间:2026.02.28

    LPCVD设备的基本原理是利用化学气相沉积(CVD)的方法,在低压(通常为0.1-10Torr)和高温(通常为500-1200℃)的条件下,将含有所需元素的气体前驱体引入反应室,在衬底表面发生化学反应...

  • 合肥真空镀膜厂 发布时间:2026.02.27

    LPCVD技术在光电子领域也有着广泛的应用,主要用于沉积硅基光波导、光谐振器、光调制器等器件所需的高折射率和低损耗的材料。由于光电子器件对薄膜质量和性能的要求非常高,LPCVD技术具有很大的优势,例如...

  • 广东数字光刻 发布时间:2026.02.27

    随着半导体工艺的不断进步,光刻机的光源类型也在不断发展。从传统的汞灯到现代的激光器、等离子体光源和极紫外光源,每种光源都有其独特的优点和适用场景。汞灯作为传统的光刻机光源,具有成本低、易于获取和使用等...

  • 宁波真空镀膜涂料 发布时间:2026.02.27

    LPCVD设备的设备构造主要包括以下几个部分:真空系统、气体输送系统、反应室、加热系统、温度控制系统、压力控制系统、流量控制系统等。LPCVD设备的发展趋势主要有以下几点:(1)为了降低衬底材料的热损...

  • 中山MEMS光刻 发布时间:2026.02.26

    通过光刻技术制作出的微纳结构需进一步通过刻蚀或者镀膜,才可获得所需的结构或元件。刻蚀技术,是按照掩模图形对衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术,可分为湿法刻蚀和干法刻蚀。湿法刻蚀较普遍、也...

  • 浙江真空镀膜涂料 发布时间:2026.02.26

    电子束真空镀膜的物理过程:物理的气相沉积技术的基本原理可分为三个工艺步骤:(1)电子束激发镀膜材料金属颗粒的气化:即镀膜材料的蒸发、升华从而形成气化源,(2)镀膜材料粒子((原子、分子或离子)的迁移:...

  • 辽宁UV真空镀膜 发布时间:2026.02.25

    LPCVD的制程主要包括以下几个步骤:预处理:在LPCVD之前,需要对衬底进行清洁和预热,以去除表面的杂质和水分,防止薄膜沉积过程中产生缺陷或不均匀。预处理的方法有湿法清洁、干法清洁、氢退火等。装载:...

  • 江门真空镀膜设备 发布时间:2026.02.25

    电子束蒸发:将蒸发材料置于水冷坩埚中,利用电子束直接加热使蒸发材料汽化并在衬底上凝结形成薄膜,是蒸度高熔点薄膜和高纯薄膜的一种主要加热方法。为了获得性能良好的半导体电极Al膜,我们通过优化工艺参数,制...

  • 贵阳真空镀膜工艺 发布时间:2026.02.24

    涂敷在透明光学元件表面、用来消除或减弱反射光以达增透目的的光学薄膜。又称增透膜。简单的减反射膜是单层介质膜,其折射率一般介于空气折射率和光学元件折射率之间,使用普遍的介质膜材料为氟化镁。减反射膜的工作...

  • 反射溅射真空镀膜工艺 发布时间:2026.02.24

    衡量沉积质量的主要指标有以下几项:指标就是均匀度。顾名思义,该指标就是衡量沉积薄膜厚度均匀与否的参数。薄膜沉积和刻蚀工艺一样,需将整张晶圆放入沉积设备中。因此,晶圆表面不同角落的沉积涂层有可能厚度不一...

  • 三明光学真空镀膜 发布时间:2026.02.14

    LPCVD技术在新型材料领域也有着潜在的应用,主要用于沉积宽禁带材料、碳纳米管、石墨烯等材料。这些材料具有优异的物理和化学性能,如高温稳定性、大强度、高导电性等,可以用于制造新型的传感器、催化剂、能源...

  • 商丘真空镀膜厂 发布时间:2026.02.14

    沉积工艺也可分为化学气相沉积和物理的气相沉积。CVD的优点是速率快,且由于在晶圆表面发生化学反应,拥有台阶覆盖率。但从上述化学方程式中不难看出,其缺点就是产生副产物废气。在半导体制程中,很难将这些废气...

  • 河源UV光固化真空镀膜 发布时间:2026.02.14

    通常在真空镀膜中制备的薄膜与衬底的粘附主要与一下几个因素有关:1.衬底表面的清洁度;2.制备时腔体的本底真空度;3.衬底表面的预处理。衬底的清洁度会严重影响薄膜的粘附力,也可能导致制备的薄膜在脏污处出...

  • 辽宁光刻代工 发布时间:2026.02.14

    光刻胶原料是光刻胶产业的重要环节,原料的品质也决定了光刻胶产品品质。光刻胶上游原材料是指光刻胶化学品一级原料,可以细分为感光剂、溶剂、成膜树脂及添加剂(助剂、单体等)。在典型的光刻胶组分中,一般溶剂含...

  • 肇庆钛金真空镀膜 发布时间:2026.02.14

    通常在真空镀膜中制备的薄膜与衬底的粘附主要与一下几个因素有关:1.衬底表面的清洁度;2.制备时腔体的本底真空度;3.衬底表面的预处理。衬底的清洁度会严重影响薄膜的粘附力,也可能导致制备的薄膜在脏污处出...

  • 广州材料刻蚀代工 发布时间:2026.02.13

    光刻胶旋涂是特别是厚胶的旋涂和方形衬底匀胶时,会在衬底的边缘形成胶厚的光刻胶边即是所谓的边胶,即光刻胶的边缘突起,在使用接触式光刻的情况下会导致光刻胶曝光的图案分辨率低、尺寸误差大或显影后图案的侧壁不...

  • 浙江GaN材料刻蚀 发布时间:2026.02.13

    电子束曝光指使用电子束在表面上制造图样的工艺,是光刻技术的延伸应用。它的特点是分辨率高、图形产生与修改容易、制作周期短。它可分为扫描曝光和投影曝光两大类,其中扫描曝光系统是电子束在工件面上扫描直接产生...

  • 深圳光刻多少钱 发布时间:2026.02.13

    光刻对准技术是曝光前一个重要步骤作为光刻的三大主要技术之一,一般要求对准精度为细线宽尺寸的1/7---1/10。随着光刻分辨力的提高,对准精度要求也越来越高,例如针对45am线宽尺寸,对准精度要求在5...

  • 宝鸡真空镀膜厂家 发布时间:2026.02.13

    介质薄膜是重要的半导体薄膜之一。它可用作电路间的绝缘层,掩蔽半导体主要元件的相互扩散和漏电现象,从而进一步改善半导体操作性能的可靠性;它还可用作保护膜,在半导体制程的环节生成保护膜,保护芯片不受外部冲...

  • 盐城钛金真空镀膜 发布时间:2026.02.13

    热氧化是在一定的温度和气体条件下,使硅片表面氧化一定厚度的氧化硅的。主要有干法氧化和湿法氧化,干法氧化是在硅片表面通入氧气,硅片与氧化反应生成氧化硅,氧化速率比较慢,氧化膜厚容易控制。湿法氧化在炉管当...

  • 云南材料刻蚀平台 发布时间:2026.02.13

    双面镀膜光刻是针对硅及其它半导体基片发展起来的加工技术。在基片两面制作光刻图样并且实现映射对准曝光,如果图样不是轴向对称的,往往需要事先设计图样成镜像关系的两块掩模板,每块掩模板用于基片一个表面的曝光...

  • 芯片光刻外协 发布时间:2026.02.12

    湿法腐蚀是利用腐蚀液和基片之间的化学反应。采用这种方法,虽然各向异性刻蚀并非不可能,但比各向同性刻蚀要困难得多。溶液和材料的组合有很多限制,必须严格控制基板温度、溶液浓度、添加量等条件。无论条件调整得...

  • 信阳光学真空镀膜 发布时间:2026.02.12

    目前认为溅射现象是弹性碰撞的直接结果,溅射完全是动能的交换过程。当正离子轰击阴极靶,入射离子撞击靶表面上的原子时,产生弹性碰撞,它直接将其动能传递给靶表面上的某个原子或分子,该表面原子获得动能再向靶内...

  • 淮安真空镀膜仪 发布时间:2026.02.12

    LPCVD设备中较新的是垂直式LPCVD设备,因为其具有结构紧凑、气体分布均匀、薄膜厚度一致、颗粒污染少等优点。垂直式LPCVD设备可以根据不同的气体流动方式进行分类。常见的分类有以下几种:(1)层流...

  • 东莞真空镀膜厂家 发布时间:2026.02.12

    光刻机被称作“现代光学工业之花”,生产制造全过程极为繁杂,一台光刻机的零配件就达到10万个。ASML光刻机也不是荷兰以一国之力造出的,ASML公司的光刻机采用了美国光源设备及技术工艺,也选用了德国卡尔...

  • 河北曝光光刻 发布时间:2026.02.12

    剥离工艺(lift-off)是指在有光刻胶图形的掩膜上镀膜后,再去除光刻胶获得图案化的金属的工艺。在剥离工艺中,有几种关键因素影响得到的金属形貌。1.光刻胶的厚度。光刻胶厚度需大于金属厚度,一般光刻胶...

  • 安徽材料刻蚀加工 发布时间:2026.02.12

    目前,国内光刻胶原材料市场基本被国外厂商垄断,尤其是树脂和感光剂高度依赖于进口,国产化率很低,由此增加了国内光刻胶生产成本以及供应链风险。国内企业基于危机意识在上游原材料领域已展开相关布局。从上市公司...

  • 山西光刻多少钱 发布时间:2026.02.11

    铝(Aluminium)是一种银白色轻金属,密度为2.70g/cm3。熔点660℃。易溶于稀硫酸、硝酸、盐酸、氢氧化钠和氢氧化钾溶液,难溶于水。在常温下能形成一层防止金属腐蚀的氧化膜。铝的湿法刻蚀溶液...

  • 江西氧化硅材料刻蚀 发布时间:2026.02.11

    氧等离子去胶是利用氧气在微波或射频发生器的作用下产生氧等离子体,具有活性的氧等离子体与有机聚合物发生氧化反应,是的有机聚合物被氧化成水汽和二氧化碳等排除腔室,从而达到去除光刻胶的目的,这个过程我们有时...

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