微纳加工技术在多个领域具有普遍的应用前景。在半导体制造领域，微纳加工技术可用于制备高性能的集成电路和微处理器，推动信息技术的快速发...

真空镀膜微纳加工，作为微纳加工领域的重要技术之一，正以其独特的加工优势，在半导体制造、光学器件及生物医学等领域展现出普遍的应用前景...

曝光是将掩膜上的图案转移到光刻胶上的关键步骤。使用光刻机，将掩膜上的图案通过光源（如紫外光或极紫外光）准确地投射到光刻胶上。曝光过...

超快微纳加工是一种利用超短脉冲激光或超高速粒子束进行微纳尺度加工的技术。它能够在极短的时间内实现高精度的材料去除和改性，同时避免热...

掺杂技术是半导体器件加工中的关键环节，它通过向半导体材料中引入杂质原子，改变材料的电学性质。掺杂技术可以分为扩散掺杂和离子注入掺杂...