杭州芯纪源半导体设备有限公司2026-01-20
国产设备成本只为进口设备的1/3至1/2(例如国产设备价格约30-50万元,进口设备约100-200万元),且检测精度达微米级(优于国外主流产品),例如清华大学采购的国产设备分辨率达0.1μm。
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