水浸超声扫描显微镜的水槽需要维护吗？

杭州芯纪源半导体设备有限公司2026-06-06

需要定期维护。主要维护内容包括：①水质管理 —— 使用去离子水（电阻率 > 18MΩ・cm），定期更换（建议每周或根据污染程度）；②水槽清洁 —— 防止藻类、细菌滋生，可用紫外线杀菌或少量杀菌剂；③温度控制 —— 水温影响声速，配置恒温装置的设备控温精度可达 ±0.1°C；④防气泡 —— 水槽设计需避免死角积气；⑤窗口清洁 —— 探头窗口和样品窗需定期擦拭。维护不当会导致图像噪声增大、分辨率下降。

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