水浸超声扫描显微镜与光学显微镜有何互补？

杭州芯纪源半导体设备有限公司2026-06-11

两者在失效分析中高度互补。光学显微镜分辨率更高（可达亚微米级），能看到表面和透明材料内部的微观结构，但无法穿透不透明材料。水浸超声扫描显微镜能穿透金属、陶瓷等不透明材料，但分辨率受限于声波波长。在实际工作中，通常先用超声显微镜定位内部缺陷位置，再用光学显微镜或SEM对缺陷区域进行表面观察和截面分析。两者结合可以获得从宏观到微观的完整信息。

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