苏州致晟光电科技有限公司自主研发的 RTTLIT 系统以高精度ADC(模数转换)芯片检测为例,其内部电路对电激励变化高度敏感,即便0.1%的电流波动,也可能造成局部温度异常,影响缺陷定位和分析结果。通过实时监控系统,可将参数波动控制在0.01%以内,从而有效保障热成像数据的可靠性和准确性。这不仅提升了锁相热成像系统在电子元件检测中的应用价值,也为生产线上的高精度元件质量控制提供了稳定、可控的技术环境,为后续失效分析和工艺优化提供了坚实支撑。空间分辨率高:结合显微光学系统,可达微米级。制冷锁相红外热成像系统用户体验
相比传统热成像设备,锁相红外热成像系统凭借其锁相调制与相位解调技术,提升了信噪比和温差灵敏度,能够在极低温差环境下捕捉微弱的热信号。其高对比度的成像能力确保了热异常区域清晰显现,即使是尺寸为微米级的热缺陷也能被准确定位。系统配备高性能的中波红外探测器和高数值孔径光学镜头,兼顾高空间分辨率和宽动态范围,适应不同复杂结构和应用场景。强大的时空分辨能力使得动态热过程、热点迁移及瞬态热响应都能被实时监测,极大提高了热诊断的准确性和效率,为电子产品的研发与质量控制提供坚实保障高精度锁相红外热成像系统emmi红外探测器同步采集样品表面的热辐射;
锁相红外热成像系统的重要原理可概括为 “调制 - 锁相 - 检测” 的三步流程,即通过调制目标红外辐射,使探测器响应特定相位信号,实现微弱信号的准确提取。第一步调制过程中,系统通过调制器(如机械斩波器、电光调制器)对目标红外辐射进行周期性调制,使目标信号具备特定的频率与相位特征,与环境干扰信号区分开。第二步锁相过程,探测器与参考信号发生器同步工作,探测器对与参考信号相位一致的调制信号产生响应,过滤掉相位不匹配的干扰信号。第三步检测过程,系统对锁相后的信号进行放大、处理,转化为可视化的红外图像。在侦察领域,这一原理的优势尤为明显,战场环境中存在大量红外干扰源(如红外诱饵弹),锁相红外热成像系统通过调制目标(如敌方装备)的红外辐射,使探测器响应特定相位的信号,有效规避干扰,实现对目标的准确识别与追踪。
具体工作流程中,当芯片处于通电工作状态时,漏电、短路等异常电流会引发局部焦耳热效应,产生皮瓦级至纳瓦级的极微弱红外辐射。这些信号经 InGaAs 探测器转换为电信号后,通过显微光学系统完成成像,再经算法处理生成包含温度梯度与空间分布的高精度热图谱。相较于普通红外热像仪,Thermal EMMI 的技术优势体现在双重维度:一方面,其热灵敏度可低至 0.1mK,能捕捉传统设备无法识别的微小热信号;另一方面,通过光学系统与算法的协同优化,定位精度突破至亚微米级,可将缺陷精确锁定至单个晶体管乃至栅极、互联线等更细微的结构单元,为半导体失效分析提供了前所未有的技术支撑。在芯片检测中,锁相红外可提取低至 0.1mK 的微小温差信号,清晰呈现 IGBT、IC 等器件隐性热异常。
锁相红外热成像系统平台的重要优势之一,在于其具备灵活的多模式激励信号输出能力,可根据被测目标的材质、结构及检测需求,精细匹配比较好激励方案。平台内置的信号发生器支持正弦波、方波、三角波等多种波形输出,频率调节范围覆盖 0.01Hz-1kHz,输出功率可根据目标尺寸与导热特性进行 0-50W 的连续调节。例如,检测金属等高热导率材料时,因热传导速度快,需采用高频(100-500Hz)正弦波激励,确保缺陷区域形成稳定的周期性热响应;而检测塑料、陶瓷等低热导率材料时,低频(0.1-10Hz)方波激励能减少热扩散损失,更易凸显材料内部的热阻差异。同时,平台还支持自定义激励信号编辑,工程师可通过配套软件设置激励信号的占空比、相位差等参数,适配特殊检测场景,如航空复合材料层合板的分层检测、动力电池极耳的焊接质量检测等。这种多模式适配能力,使系统突破了单一激励方式的局限性,实现了对不同行业、不同类型目标的多方面覆盖检测。锁相红外技术能有效检测IC漏电、短路及结温异常等问题。芯片用锁相红外热成像系统技术参数
致晟光电自主研发的锁相红外热像仪,凭借高灵敏度探测能力,可快速定位芯片内部的隐性故障点。制冷锁相红外热成像系统用户体验
锁相红外热成像系统的工作原理基于锁相放大技术,这一技术的本质是通过提取与参考信号同频同相的红外信号,滤除无关干扰,实现对微弱目标信号的精细检测。系统工作时,首先由信号发生器生成固定频率、相位的参考信号,该信号与目标红外辐射的调制频率保持一致。随后,红外探测器采集目标辐射信号,这些信号中包含目标信号与环境干扰信号。系统将采集到的混合信号与参考信号输入锁相放大器,锁相放大器通过相位敏感检测器,保留与参考信号频率、相位相同的目标信号,将其他频率、相位的干扰信号抑制。这一过程如同 “信号筛选器”,能从复杂的干扰环境中提取出微弱的目标信号。例如在环境噪声较大的工业车间,传统红外成像系统受电机振动、气流扰动等干扰,难以捕捉设备微小过热信号,而锁相红外热成像系统通过锁相放大原理,可将干扰信号抑制 1000 倍以上,精细提取目标信号。制冷锁相红外热成像系统用户体验