在实际应用中,这款设备已成为半导体产业链的 “故障诊断利器”。在晶圆制造环节,它能通过热分布成像识别光刻缺陷导致的局部漏电;在芯片封装阶段,可定位引线键合不良引发的接触电阻过热;针对 IGBT 等功率器件,能捕捉高频开关下的瞬态热行为,提前预警潜在失效风险。某半导体企业在检测一批失效芯片时,传统热成像设备能看到模糊的发热区域,而使用致晟光电的一体化设备后,通过锁相技术发现发热区域内存在一个 2μm 的微小热点,终定位为芯片内部的金属离子迁移缺陷 —— 这类缺陷若未及时发现,可能导致产品在长期使用中突然失效。系统的逻辑是通过 “周期性激励 - 热响应 - 锁相提取 - 特征分析” 的流程,将内部结构差异转化为热图像特征。实时成像锁相红外热成像系统订制价格
热红外显微镜是半导体失效分析与缺陷定位的三大主流手段之一(EMMI、THERMAL、OBIRCH),通过捕捉故障点产生的异常热辐射,实现精细定位。存在缺陷或性能退化的器件通常表现为局部功耗异常,导致微区温度升高。显微热分布测试系统结合热点锁定技术,能够高效识别这些区域。热点锁定是一种动态红外热成像方法,通过调节电压提升分辨率与灵敏度,并借助算法优化信噪比。在集成电路(IC)分析中,该技术广泛应用于定位短路、ESD损伤、缺陷晶体管、二极管失效及闩锁问题等关键故障。显微锁相红外热成像系统方案锁相检测模块功能是通过与电激励信号的同步锁相处理,从热像序列中提取与激励频率一致的温度波动分量。
RTTLIT 系统采用了先进的锁相热成像(Lock-In Thermography)技术,这是一种通过调制电信号来大幅提升特征分辨率与检测灵敏度的创新方法。在传统的热成像检测中,由于背景噪声和热扩散等因素的影响,往往难以精确检测到微小的热异常。而锁相热成像技术通过对目标物体施加特定频率的电激励,使目标物体产生与激励频率相同的热响应,然后通过锁相放大器对热响应信号进行解调,只提取与激励频率相关的热信号,从而有效地抑制了背景噪声,极大地提高了检测的灵敏度和分辨率。
与传统的热成像技术相比,锁相热成像系统拥有诸多不可替代的优势。传统热成像技术往往只能检测到物体表面的温度分布,对于物体内部不同深度的缺陷难以有效区分,而锁相热成像系统通过对相位信息的分析,能够区分不同深度的缺陷,实现了分层检测的突破,完美解决了传统技术在判断缺陷深度上的难题。不仅如此,它的抗干扰能力也极为出色,在强光照射、强烈电磁干扰等复杂且恶劣的环境下,依然能够保持稳定的工作状态,为工业质检工作提供了坚实可靠的技术保障,确保了检测结果的准确性和一致性,这在对检测精度要求极高的工业生产中尤为重要。红外热成像模块功能是实时采集被测物体表面的红外辐射信号,转化为随时间变化的温度分布图像序列。
OBIRCH与EMMI技术在集成电路失效分析领域中扮演着互补的角色,其主要差异体现在检测原理及应用领域。具体而言,EMMI技术通过光子检测手段来精确定位漏电或发光故障点,而OBIRCH技术则依赖于激光诱导电阻变化来识别短路或阻值异常区域。这两种技术通常被整合于同一检测系统(即PEM系统)中,其中EMMI技术在探测光子发射类缺陷,如漏电流方面表现出色,而OBIRCH技术则对金属层遮蔽下的短路现象具有更高的敏感度。例如,EMMI技术能够有效检测未开封芯片中的失效点,而OBIRCH技术则能有效解决低阻抗(<10 ohm)短路问题。高灵敏度红外相机( mK 级),需满足高帧率(至少为激励频率的 2 倍,遵循采样定理)以捕捉周期性温度变化。高精度锁相红外热成像系统按需定制
锁相热成像系统让电激励检测更具实用价值。实时成像锁相红外热成像系统订制价格
ThermalEMMI(热红外显微镜)是一种先进的非破坏性检测技术,主要用于精细定位电子设备中的热点区域,这些区域通常与潜在的故障、缺陷或性能问题密切相关。该技术可在不破坏被测对象的前提下,捕捉电子元件在工作状态下释放的热辐射与光信号,为工程师提供关键的故障诊断线索和性能分析依据。在诸如复杂集成电路、高性能半导体器件以及精密印制电路板(PCB)等电子组件中,ThermalEMMI能够快速识别出异常发热或发光的区域,帮助工程师迅速定位问题根源,从而及时采取有效的维修或优化措施。实时成像锁相红外热成像系统订制价格