锁相频率越高,得到的空间分辨率则越高。然而,对于锁相红外热成像系统来说,较高的频率往往会降低待检测的热发射。这是许多 LIT系统的限制。RTTLIT系统通过提供一个独特的系统架构克服了这一限制,在该架构中,可以在"无限"的时间内累积更高频率的 LIT 数据。数据采集持续延长,数据分辨率提高。系统采集数据的时间越长,灵敏度越高。当试图以极低的功率级采集数据或必须从弱故障模式中采集数据时,锁相红外热成像RTTLIT系统的这一特点尤其有价值。电激励频率可调,适配锁相热成像系统多场景检测。失效分析锁相红外热成像系统用户体验

在电子领域,所有器件都会在不同程度上产生热量。器件散发一定热量属于正常现象,但某些类型的缺陷会增加功耗,进而导致发热量上升。在失效分析中,这种额外的热量能够为定位缺陷本身提供有用线索。热红外显微镜可以借助内置摄像系统来测量可见光或近红外光的实用技术。该相机对波长在3至10微米范围内的光子十分敏感,而这些波长与热量相对应,因此相机获取的图像可转化为被测器件的热分布图。通常,会先对断电状态下的样品器件进行热成像,以此建立基准线;随后通电再次成像。得到的图像直观呈现了器件的功耗情况,可用于隔离失效问题。许多不同的缺陷在通电时会因消耗额外电流而产生过多热量。例如短路、性能不良的晶体管、损坏的静电放电保护二极管等,通过热红外显微镜观察时会显现出来,从而使我们能够精细定位存在缺陷的损坏部位。工业检测锁相红外热成像系统与光学显微镜对比电激励与锁相热成像系统,推动无损检测发展。

致晟光电热红外显微镜采用高性能InSb(铟锑)探测器,用于中波红外波段(3–5 μm)的热辐射信号捕捉。InSb材料具有优异的光电转换效率和极低的本征噪声,在制冷条件下可实现高达nW级的热灵敏度和优于20mK的温度分辨率,适用于高精度、非接触式热成像分析。该探测器在热红外显微系统中的应用,提升了空间分辨率(可达微米量级)与温度响应线性度,使其能够对半导体器件、微电子系统中的局部发热缺陷、热点迁移和瞬态热行为进行精细刻画。配合致晟光电自主开发的高数值孔径光学系统与稳态热控平台,InSb探测器可在多物理场耦合背景下实现高时空分辨的热场成像,是先进电子器件失效分析、电热耦合行为研究及材料热特性评价中的关键。
在实际应用中,这款设备已成为半导体产业链的 “故障诊断利器”。在晶圆制造环节,它能通过热分布成像识别光刻缺陷导致的局部漏电;在芯片封装阶段,可定位引线键合不良引发的接触电阻过热;针对 IGBT 等功率器件,能捕捉高频开关下的瞬态热行为,提前预警潜在失效风险。某半导体企业在检测一批失效芯片时,传统热成像设备能看到模糊的发热区域,而使用致晟光电的一体化设备后,通过锁相技术发现发热区域内存在一个 2μm 的微小热点,终定位为芯片内部的金属离子迁移缺陷 —— 这类缺陷若未及时发现,可能导致产品在长期使用中突然失效。三维可视化通过相位信息实现微米级深度定位功能,能够无盲区再现被测物内部构造。

电激励参数的实时监控对于锁相热成像系统在电子产业检测中的准确性至关重要,是保障检测结果可靠性的关键环节。在电子元件检测过程中,电激励的电流大小、频率稳定性等参数可能会受到电网波动、环境温度变化等因素的影响而发生微小波动,这些波动看似细微,却可能对检测结果产生干扰,尤其是对于高精度电子元件的检测。通过实时监控系统对电激励参数进行持续监测,并将监测数据实时反馈给控制系统,可及时调整激励源的输出,确保电流、频率等参数始终稳定在预设范围内。例如,在检测高精度 ADC(模数转换)芯片时,其内部电路对电激励的变化极为敏感,即使是 0.1% 的电流波动,也可能导致芯片内部温度分布出现异常,干扰对真实缺陷的判断。而实时监控系统能将参数波动控制在 0.01% 以内,有效保障了检测的准确性,为电子元件的质量检测提供了稳定可靠的技术环境。锁相热成像系统结合电激励技术,可实现对电子元件工作状态的实时监测,及时发现潜在的过热或接触不良问题。工业检测锁相红外热成像系统与光学显微镜对比
电激励与锁相热成像系统,电子检测黄金组合。失效分析锁相红外热成像系统用户体验
当电子设备中的某个元件发生故障或异常时,常常伴随局部温度升高。热红外显微镜通过高灵敏度的红外探测器,能够捕捉到极其微弱的热辐射信号。这些探测器通常采用量子级联激光器等先进技术,或其他高性能红外传感方案,具备宽温区、高分辨率的成像能力。通过对热辐射信号的精细探测与分析,热红外显微镜能够将电子设备表面的温度分布以高对比度的热图像形式呈现,直观展现热点区域的位置、尺寸及温度变化趋势,从而帮助工程师快速锁定潜在的故障点,实现高效可靠的故障排查。失效分析锁相红外热成像系统用户体验