在厚度＜50μm 的超薄晶圆翘曲检测中，非接触式高速相位成像方案较接触式翘曲仪解决了变形难题。接触式翘曲仪的机械测头接触压力（＞1mN）会导致超薄晶圆产生不可逆翘曲，测量结果失真，且无法捕捉动态翘曲过...

功率半导体器件多用于电力转换场景，内部会制备绝缘涂层来阻隔电流、保障安全，涂层的结合效果可通过水滴角辅助把控。绝缘涂层需要紧密贴合器件基体，若附着力不足，使用过程中容易开裂、脱落，引发漏电问题。在涂层...

非接触式测厚仪相较于接触式设备，更适配自动化智能产线融合。传统接触式测厚设备自动化程度偏低，多依赖人工上下料、对位、校准，难以适配机械臂联动作业，无法融入现代化智能生产线。人工介入环节较多，不仅拖慢自...

追溯影像仪的发展轨迹，四十余年的技术演进见证着精密测量的革新。20 世纪 70 年代，视觉计算理论奠定基础，1977 年首台自动影像测量系统诞生，开启了非接触测量的新纪元。90 年代 CMOS 数字图...

半导体行业的精密赛道上，影像仪正着微小尺寸测量的严苛挑战。ASM 先进科技等企业在芯片封装研发中，需应对超小尺寸的高精度检测需求，海克斯康 Optiv Reference 系列影像仪凭借 0.3+L/...

在晶圆背面研磨后的粗糙度检测中，非接触式 LED 散射光方案较接触式探针仪实现效率与精度的双重提升。接触式探针仪采用逐点扫描方式，全片（12 英寸）测量需耗时＞10 分钟，且背面研磨痕迹的方向性易导致...

半导体生产车间对环境（温度、湿度、振动、洁净度）要求严苛，但仍存在轻微波动，普通检测设备易受环境影响导致精度漂移、成像模糊，而影像仪凭借高刚性机械结构、精密光学系统、环境补偿算法，具备极强的环境适应性...

半导体行业涉及大量技术数据（如产品设计参数、制程数据、检测数据），数据安全与合规性是企业关注点，影像仪凭借数据加密存储、权限分级管理、数据合规导出、日志全程记录等功能，为半导体企业提供数据安全保障，满...

在厚层结构检测场景中，非接触式测厚仪相比接触式设备量程适配更广。半导体功率器件的厚封装胶层、绝缘厚涂层、散热保护层厚度尺寸较大，传统接触式测厚设备量程区间有限，无法适配厚层结构检测，容易出现量程超限、...

非接触式测厚仪具备优异的透光检测特性，能够很好适配半导体各类透明薄膜的工业化检测需求。半导体生产制程中，光刻胶薄膜、表层钝化膜、绝缘防护薄膜等功能性材料均为透光材质，这类薄膜质地轻薄柔软，表层结构极易...

设备可适配半导体异形结构工件的厚度检测。随着半导体器件品类不断丰富，各类特种半导体器件逐步普及，这类器件多具备异形曲面、圆弧端面、不规则凹凸结构，传统平面检测设备的检测光路固定，存在大量检测盲区，无法...

高精度与高稳定性是晶圆搬送机的技术特点，也是保障半导体生产良率的关键。设备采用进口滚珠丝杠与线性导轨，配合伺服电机的精细控制，重复定位精度可达到 ±0.01mm 以内，满足纳米级芯片制造的对位要求。在...