工业视频显微镜是将光学成像与数字摄像技术结合的现代化观测设备,通过相机将显微图像实时传输至屏幕,实现多人同步观察、图像保存、测量分析与远程共享。它具有操作简单、无视觉疲劳、可长时间观测、便于记录等特点...
在倒装芯片(Flip Chip)封装工艺中,微焊球的形态、排列、浸润、塌陷直接影响器件导通与散热,工业体式显微镜承担焊球外观、阵列完整性、助焊剂残留、芯片偏移等快速检测任务。通过立体成像,可直观判断焊...
工业红外显微镜提供透射、反射、背面穿透三种成像模式,覆盖半导体全流程检测需求。透射模式适用于超薄晶圆、光刻胶层、介质膜、透明封装材料,通过红外光穿透后的吸收差异,呈现层间结构与均匀性缺陷;反射模式针对...
芯片在减薄、划片、切割、贴装、封装过程中易产生崩边、隐裂纹、表面划痕、层裂、背崩、边角破损等机械损伤,这类缺陷会降低器件强度与可靠性,FA 实验室依靠金相显微镜完成损伤观察、范围评估、风险判定。通过平...
工业体式显微镜采用双通道光路设计,左右光路形成微小夹角,终在人脑中合成正立、立体、可感知深度的三维图像,这一原理使其特别适合观察芯片、键合线、凸块、框架等具有高度差的结构。光学系统采用复消色差、抗反射...
失效分析是半导体提升可靠性的关键环节,工业体式显微镜在失效样品初步观察、定位、解剖、取证中发挥前端筛选作用。工程师首先通过体式显微镜对失效芯片进行宏观检查,观察表面是否烧黑、熔断、鼓包、裂纹、金属迁移...
照明系统是工业体式显微镜在半导体应用中能否看清缺陷的关键,设备通常配备多路可调控光源,以应对不同材料、不同结构的观测需求。环形 LED 光源提供均匀正面照明,适合整体外观检查;侧光 / 斜射光可突出表...
晶圆是半导体制造的基础载体,其表面质量直接影响后续流片良率,工业体式显微镜是8 英寸、12 英寸晶圆外观检查的工具。在晶圆减薄、研磨、蚀刻、清洗、镀膜等工序后,操作人员通过体式显微镜快速观测表面是否存...
半导体封装完成后必须经过严格外观检查,工业体式显微镜是封装体表面、引脚、框架、标识、溢胶、破损等缺陷检测的标准设备。它可清晰观察封装胶体是否存在气泡、缺胶、裂纹、划伤、变色、溢胶、分层,引脚是否变形、...