随着半导体产业向先进制程、大尺寸晶圆、高集成度方向发展,晶圆搬送机的技术也在持续升级迭代,不断突破性能瓶颈。在精度提升方面,新一代...
在光刻胶固化后粗糙度检测中,非接触式暗场成像 + AI 分析方案较接触式探针仪更适配制程需求。接触式探针仪的探针易刮伤固化后的光刻...
光谱椭圆偏振探头利用偏振光入射晶圆表面后的偏振态变化,同步解析多层膜系的折射率与厚度参数,成为非接触式检测机的配置。其原理是通过宽...
随着第三代半导体产业的快速发展,碳化硅、氮化镓等新型半导体材料的应用日益,而晶圆搬送机针对这些材料的特性,实现了多项应用突破。第三...
随着第三代半导体产业的快速发展,碳化硅、氮化镓等新型半导体材料的应用日益,而晶圆搬送机针对这些材料的特性,实现了多项应用突破。第三...
针对晶圆背面铝、铜、金等金属化层的厚度检测,非接触式 X 射线荧光测厚方案较电容式测厚仪展现出无损与精细双重优势。电容式测厚仪需与...
为避免操作人员因疏忽导致的操作失误,晶圆搬送机融入了多项防呆设计,保障生产过程的安全与稳定。设备的操作面板采用了逻辑互锁设计,例如...
在厚度<50μm 的超薄晶圆翘曲检测中,非接触式高速相位成像方案较接触式翘曲仪解决了变形难题。接触式翘曲仪的机械测头接触压力(>1...
无锡奥考斯半导体设备有限公司成立于2021年1月,是一家专注于半导体检测设备自主研发和品牌销售的高新科技企业,属于国家芯火计划平台的孵化企业。公司在马来西亚吉隆坡设有研发中心,在上海设有销售中心,并在无锡拥有产品展示中心和生产基地。 奥考斯致力于推动半导体行业的发展,已经推出了多款系列产品,包括晶圆自动上下料检查机、多功能晶圆测量仪、定焦影响测量系统、CD测量机、溢胶高度测量仪和上下齐焦显微镜等...
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