ThermalEMMI 测试过程中,不建议盲目加大激励条件试图得到热点信号,部分操作人员遇到 ThermalEMMI 看不到热点,就持续抬升电压电流,希望逼迫器件产生温升信号。超出器件规格的激励,很容...
EMMI 开展对比测试时,需要控制 EMMI 采集参数保持统一,当需要对比不同电学条件下样品发光变化,或者对比良品与失效件之间差异,同一组对比实验,EMMI 的积分时间、叠加帧数、滤光片、镜头倍率全部...
ThermalEMMI 软件支持图像和版图的叠加显示,将 GDS 版图文件导入系统,完成坐标配准之后,ThermalEMMI 热图像的热点光斑就映射到芯片版图对应的电路图形之上,ThermalEMMI...
LIT技术在电子器件的机械应力测试中具有应用。机械应力如弯曲、冲击、振动可能导致电子器件产生裂纹、脱焊等失效。LIT系统在机械应力测试前后对器件进行检测,捕获其表面的热分布。机械应力造成的损伤往往表现...
EMMI 针对传感器芯片开展失效分析,图像传感器像素单元发生漏电损伤,受损像素通电后会产生光子,EMMI 可以标记出发生异常发光像素位置。传感器芯片拥有阵列化像素单元,EMMI 大视场扫描可以一次性覆...
ThermalEMMI 不能直接用来做器件温度定量测量,ThermalEMMI 接收到的红外辐射除和温度相关,还受样品表面发射率、光路衰减、封装介质吸收多重因素影响,ThermalEMMI 灰度数值只...
EMMI 图像做灰度分析可以对比不同发光点位之间相对亮度,EMMI 图像每一个像素拥有灰度数值,灰度高低对应该位置接收到光子数量多少,借助软件读取不同光斑区域平均灰度,就可以得到各个点位相对发光强弱。...
EMMI 处理多组同批次失效样品,批量开展 EMMI 观测,可以统计发光点位分布规律,一批次工艺问题带来失效,很多失效样品 EMMI 发光点位会集中在版图相同位置;如果各个样品 EMMI 发光点位散乱...
EMMI系统的探测器选型直接影响检测能力。EMMI常用的制冷型Si-CCD探测器在可见光至近红外波段具有良好响应。EMMI的InGaAs探测器则将近红外检测范围进一步拓展,适合捕捉更微弱的光子信号...
LIT技术在混合信号芯片的失效分析中具有应用。混合信号芯片包含模拟和数字电路,失效模式涉及两个域。LIT系统施加工作电压和混合激励,如数字测试向量和模拟正弦波信号,捕获其热分布。锁相解调提取有效热信号...
EMMI 图像的动态范围指标,关乎 EMMI 能不能同时记录强发光区域和微弱发光区域,同一张 EMMI 画面内部,有可能同时存在亮度差距悬殊的发光点,一处是漏电严重的强发光光斑,另一处是微弱漏电形成的...
EMMI 系统电源单元的输出稳定性,会间接影响 EMMI 测试结果,EMMI 配套电源模块用来给待测半导体器件施加偏置激励,如果电源输出电压、电流存在大幅度波动,器件工作状态持续震荡,失效状态无法稳定...