通过中心提供的试验生产线基础设施，WaveOptics将超越其客户对下个季度的预期需求，并有一条可靠的途径将大批量生产工艺和设备转移至能够大规模生产波导的指定设施适用于全球前列OEM品牌。 WaveOptics与EVG的合作突显了其致力于以可实现的价格提供高性能，商用波导来帮助客户将AR显示器推向市场的承诺。利用EVG在批量生产设备和工艺技术方面的专业知识，到2019年，AR终端用户产品将以不到600美元的价格进入市场，这是当今行业中的*低价位。 EVG的纳米压印设备已使纳米图案能够在面板尺寸蕞大为第三代（550 mm x 650 mm）的基板上实现。...

EV集团和肖特携手合作，证明300-MM光刻/纳米压印技术在大体积增强现实/混合现实玻璃制造中已就绪联合工作将在EVG的NILPhotonics®能力中心开展，这是一个开放式的光刻/纳米压印（NIL）技术创新孵化器，同时也是全球***可及的300-mm光刻/纳米压印技术线2019年8月28日，奥地利，圣弗洛里安――微机电系统（MEMS）、纳米技术和半导体市场晶圆键合与光刻设备领先供应商EV集团（EVG）***宣布，与特种玻璃和微晶玻璃领域的**技术集团肖特携手合作，证明300-mm（12英寸）光刻/纳米压印（NIL）技术在下一代增强现实/混合现实（AR/MR）头戴显示设备的波导/...

EVG®720自动SmartNIL®UV纳米压印光刻系统自动全视野的UV纳米压印溶液达150毫米，设有EVG's专有SmartNIL®技术EVG720系统利用EVG的创新SmartNIL技术和材料专业知识，能够大规模制造微米和纳米级结构。具有SmartNIL技术的EVG720系统能够在大面积上印刷小至40nm*的纳米结构，具有无人能比的吞吐量，非常适合批量生产下一代微流控和光子器件，例如衍射光学元件（DOEs）。*分辨率取决于过程和模板如果需要详细的信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。也可以访问官网，获得更多信息。EVG的纳米压印设备已使纳米图案能够在面板尺寸蕞大为第三代（550 mm ...

纳米压印光刻（NIL）技术 EVG是纳米压印光刻（NIL）设备和集成工艺的市场领先供应商。EVG从19年前的研究方法中率先并掌握了NIL，并实现了从2英寸化合物半导体晶圆到300 mm晶圆甚至大面积面板的各种尺寸基板的批量生产。NIL是产生纳米尺度分辨率图案的**有前途且相当有成本效益的工艺，可用于生物MEMS，微流体，电子学以及**近各种衍射光学元件的各种商业应用。 其中EVG紫外光纳米压印系统型号包含： EVG®610 EVG®620NT EVG®6200NT EVG®720 EVG®7200 EVG®7200LA HERCUL...

它为晶圆级光学元件开发、原型设计和制造提供了一种独特的方法，可以方便地接触蕞新研发技术与材料。晶圆级纳米压印光刻和透镜注塑成型技术确保在如3D感应的应用中使用小尺寸的高 分辨率光学传感器供应链合作推动晶圆级光学元件应用要在下一代光学传感器的大众化市场中推广晶圆级生产，先进的粘合剂与抗蚀材料发挥着不可取代的作用。开发先进的光学材料，需要充分地研究化学、机械与光学特性，以及已被证实的大规模生产（HVM）的可扩展性。拥有在NIL图形压印和抗蚀工艺方面的材料兼容性，以及自动化模制和脱模的专业知识，才能在已验证的大规模生产中，以蕞小的形状因子达到晶圆级光学元件的比较好性能。材料供应商与加工设备制造...

IQAlignerUV-NIL特征：用于光学元件的微成型应用用于全场纳米压印应用三个独力控制的Z轴，可在印模和基材之间实现出色的楔形补偿三个独力控制的Z轴，用于压印抗蚀剂的总厚度变化（TTV）控制利用柔软的印章进行柔软的UV-NIL工艺EVG专有的全自动浮雕功能抵抗分配站集成粘合对准和紫外线粘合功能IQAlignerUV-NIL技术数据：晶圆直径（基板尺寸）：150至300毫米解析度：≤50nm（分辨率取决于模板和工艺）支持流程：柔软的UV-NIL，镜片成型曝光源：汞光源对准：≤±0.5微米自动分离：支持的前处理：涂层：水坑点胶（可选）迷你环境和气候控制：可选的工作印章制作：支持的EVG提供不...

该公司的高科技粘合剂以功能与可靠性闻名于世。根据客户的专门需求，公司对这些聚合物作出调整，使其具备其它特征。它们极其适合工业环境，在较短的生产周期时间内粘合各种微小的元件。此外，DELO紫外线LED固化设备与点胶阀的可靠度十分杰出。关于德路德路(DELO)是世界前列的工业粘合剂制造商，总部位于德国慕尼黑附近的Windach。在美国、中国、新加坡及日本均设有子公司。2019财政年，公司的780名员工创造了。该公司产品在全球范围内广泛应用于汽车、消费类电子产品与工业电子产品。几乎每一部智能手机与超过一半的汽车上都使用该公司产品。DELO的客户包括博世、戴姆勒、华为、欧司朗、西门子以及索尼等。...

该公司的高科技粘合剂以功能与可靠性闻名于世。根据客户的专门需求，公司对这些聚合物作出调整，使其具备其它特征。它们极其适合工业环境，在较短的生产周期时间内粘合各种微小的元件。此外，DELO紫外线LED固化设备与点胶阀的可靠度十分杰出。关于德路德路(DELO)是世界前列的工业粘合剂制造商，总部位于德国慕尼黑附近的Windach。在美国、中国、新加坡及日本均设有子公司。2019财政年，公司的780名员工创造了。该公司产品在全球范围内广泛应用于汽车、消费类电子产品与工业电子产品。几乎每一部智能手机与超过一半的汽车上都使用该公司产品。DELO的客户包括博世、戴姆勒、华为、欧司朗、西门子以及索尼等。...

EVG ® 770分步重复纳米压印光刻系统 分步重复纳米压印光刻技术，可进行有效的母版制作 EVG770是用于步进式纳米压印光刻的通用平台，可用于有效地进行母版制作或对基板上的复杂结构进行直接图案化。这种方法允许从** 大50 mm x 50 mm的小模具到比较大300 mm基板尺寸的大面积均匀复制模板。与钻石车削或直接写入方法相结合，分步重复刻印通常用于有效地制造晶圆级光学器件制造或EVG的SmartNIL工艺所需的母版。 EVG770的主要功能包括精确的对准功能，完整的过程控制以及可满足各种设备和应用需求的灵活性。 SmartNIL集成多次使用的软标记处理...

具体说来就是，MOSFET能够有效地产生电流流动，因为标准的半导体制造技术旺旺不能精确控制住掺杂的水平（硅中掺杂以带来或正或负的电荷），以确保跨各组件的通道性能的一致性。通常MOSFET是在一层二氧化硅（SiO2）衬底上，然后沉积一层金属或多晶硅制成的。然而这种方法可以不精确且难以完全掌控，掺杂有时会泄到别的不需要的地方，那样就创造出了所谓的“短沟道效应”区域，并导致性能下降。一个典型MOSFET不同层级的剖面图。不过威斯康星大学麦迪逊分校已经同全美多个合作伙伴携手（包括密歇根大学、德克萨斯大学、以及加州大学伯克利分校等），开发出了能够降低掺杂剂泄露以提升半导体品质的新技术。研究人员通...

纳米压印设备哪个好？预墨印章用于将材料以明显的图案转移到基材上。该技术用于表面化学的局部修饰或捕获分子在生物传感器制造中的精确放置。 纳米压印设备可以进行热压花、加压加热、印章、聚合物、基板、附加冲压成型脱模。 将聚合物片或旋涂聚合物加热到其玻璃化转变温度以上，从而将材料转变为粘性状态。然后以足够的力将压模压入聚合物中。岱美作为EVG在中国区的代理商，欢迎各位联系我们，探讨纳米压印光刻的相关知识。我们愿意与您共同进步。 EVG的SmartNIL技术是基于紫外线曝光的全场压印技术，可提供功能强大的下一代光刻技术。重庆纳米压印代理商 NIL300mmEV集团企...

HERCULES®NIL完全模块化和集成SmartNIL®UV-NIL系统达300毫米结合EVG的SmartNIL一个完全模块化平台®技术支持AR/VR，3D传感器，光子和生物技术生产应用EVG的HERCULESNIL300mm是一个完全集成的根踪系统，将清洁，抗蚀剂涂层和烘烤预处理步骤与EVG专有的SmartNIL大面积纳米压印光刻（NIL）工艺结合在一个平台上，用于直径蕞大为300mm的晶圆。它是弟一个基于EVG的全模块化设备平台和可交换模块的NIL系统，可为客户提供蕞大的自由度来配置他们的系统，以蕞好地满足其生产需求，包括200mm和300mm晶圆的桥接功能。EVG的EVG ® 620 ...

NIL系统肖特增强现实负责人RuedigerSprengard博士表示：“将高折射率玻璃晶圆的制造扩展到300-mm，对于实现我们客户满足当今和未来领先AR/MR设备不断增长的市场需求所需的规模经济产量来说至关重要。通过携手合作，EVG和肖特彰显了当今300-mm高折射率玻璃制造的设备和供应链的就绪性。”在此之前，使用光刻/纳米压印技术对具有光子学应用结构的玻璃基板进行图案成形***于200-mm基板。向300-mm晶圆加工的迁移是将AR/MR头戴显示设备推向大众消费和工业市场迈出的重要一步。不过，在这些较大的基板上保持高基板质量和工艺均匀性是很难控制的，需要先进的自动化和工艺控制能力...

EVG ® 520 HE热压印系统 特色：经通用生产验证的热压印系统，可满足比较高要求 EVG520 HE半自动热压印系统设计用于对热塑性基材进行高精度压印。EVG的这种经过生产验证的系统可以接受直径比较大为200 mm的基板，并且与标准的半导体制造技术兼容。热压印系统配置有通用压花腔室以及高真空和高接触力功能，并管理适用于热压印的整个聚合物范围。结合高纵横比压印和多种脱压选项，提供了许多用于高质量图案转印和纳米分辨率的工艺。 如果需要详细的信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 岱美仪器代理的SmartNIL是一项关键的启用技术，可用于显示器，生物技术和光子...

纳米压印光刻（NIL）技术 EVG是纳米压印光刻（NIL）设备和集成工艺的市场领先供应商。EVG从19年前的研究方法中率先并掌握了NIL，并实现了从2英寸化合物半导体晶圆到300 mm晶圆甚至大面积面板的各种尺寸基板的批量生产。NIL是产生纳米尺度分辨率图案的**有前途且相当有成本效益的工艺，可用于生物MEMS，微流体，电子学以及**近各种衍射光学元件的各种商业应用。 其中EVG紫外光纳米压印系统型号包含： EVG®610 EVG®620NT EVG®6200NT EVG®720 EVG®7200 EVG®7200LA HERCUL...

EVG ® 510 HE热压印系统 应用：高度灵活的热压印系统，用于研发和小批量生产 EVG510 HE半自动热压印系统设计用于对热塑性基材进行高精度压印。该设备配置有通用压花室以及真空和接触力功能，并管理适用于热压印的全部聚合物。结合高纵横比压印和多种脱压选项，提供了许多用于高质量纳米图案转印的工艺。 EVG ® 510 HE特征： 用于聚合物基材和旋涂聚合物的热压印应用 自动化压花工艺 EVG专有的**对准工艺，用于光学对准的压印和压印 完全由软件控制的流程执行 闭环冷却水供应选项 外部浮雕和冷却站 步进重复纳米压印光刻可以...

NIL300mmEV集团企业技术开发和知识产权总监MarkusWimplinger表示：“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，为光刻/纳米压印技术供应链中的各个合作伙伴和公司与EVG合作提供了一个开放式的创新孵化器，从而缩短创新光子器件和应用的开发周期和上市时间。我们很高兴与肖特公司合作，证明EVG光刻/纳米压印技术解决方案的价值，不*有助于新技术和新工艺的开发，还能够加速新技术和新工艺在大众市场中的采用。我们正在携手肖特开展的工作，彰显了光刻/纳米压印技术设备和工艺的成熟性，为各种令人兴奋的基于光子学的新产品和新应用的300-mm制造奠定了基础。”SCHOTTR...

IQ Aligner UV-NIL特征： 用于光学元件的微成型应用 用于全场纳米压印应用 三个**控制的Z轴，可在印模和基材之间实现出色的楔形补偿 三个**控制的Z轴，用于压印抗蚀剂的总厚度变化（TTV）控制 利用柔软的印章进行柔软的UV-NIL工艺 EVG专有的全自动浮雕功能 抵抗分配站集成 粘合对准和紫外线粘合功能 IQ Aligner UV-NIL技术数据： 晶圆直径（基板尺寸）：150至300毫米 解析度：≤50 nm（分辨率取决于模板和工艺） 支持流程：柔软的UV-NIL，镜片成型 曝光...

HERCULES®NIL：完全集成的纳米压印光刻解决方案，可实现300 mm的大批量生产 ■批量生产低至40 nm的结构或更小尺寸（分辨率取决于过程和模板） ■结合了预处理（清洁/涂布/烘烤/冷却）和SmartNIL®技术 ■全自动压印和受控的低力分离，可很大程度地重复使用工作印章 ■具备工作印章制造能力 EVG®770：连续重复的纳米压印光刻技术，可进行有效的母版制作 ■用于晶圆级光学器件的微透镜的高 效母模制造，直至SmartNIL®的纳米结构 ■不同类型的母版的简单实现 ■可变的光刻胶分配模式 ■分配，压印和脱模过程中...

EVG ® 510 HE特征： 用于聚合物基材和旋涂聚合物的热压印应用 自动化压花工艺 EVG专有的**对准工艺，用于光学对准的压印和压印 完全由软件控制的流程执行 闭环冷却水供应选项 外部浮雕和冷却站 EVG ® 510 HE技术数据： 加热器尺寸：150毫米 ，200毫米 比较大基板尺寸：150毫米，200毫米 **小基板尺寸：单芯片，100毫米 比较大接触力：10、20、60 kN 比较高温度：标准：350°C；可选：550°C 夹盘系统/对准系统 150毫米加热器：EVG ® 610，EVG ...

纳米压印光刻（NIL）技术 EVG是纳米压印光刻（NIL）设备和集成工艺的市场领先供应商。EVG从19年前的研究方法中率先并掌握了NIL，并实现了从2英寸化合物半导体晶圆到300 mm晶圆甚至大面积面板的各种尺寸基板的批量生产。NIL是产生纳米尺度分辨率图案的**有前途且相当有成本效益的工艺，可用于生物MEMS，微流体，电子学以及**近各种衍射光学元件的各种商业应用。 其中EVG紫外光纳米压印系统型号包含： EVG®610 EVG®620NT EVG®6200NT EVG®720 EVG®7200 EVG®7200LA HERCUL...

HERCULES ® NIL特征： 全自动UV-NIL压印和低力剥离 **多300毫米的基材 完全模块化的平台，具有多达八个可交换过程模块（压印和预处理） 200毫米/ 300毫米桥接工具能力 全区域烙印覆盖 批量生产**小40 nm或更小的结构 支持各种结构尺寸和形状，包括3D 适用于高地形（粗糙）表面 *分辨率取决于过程和模板 HERCULES ® NIL技术数据： 晶圆直径（基板尺寸）：100至200毫米/ 200和300毫米 解析度：≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺） 支持流程：SmartNIL ...

HERCULES®NIL：完全集成的纳米压印光刻解决方案，可实现300 mm的大批量生产 ■批量生产低至40 nm的结构或更小尺寸（分辨率取决于过程和模板） ■结合了预处理（清洁/涂布/烘烤/冷却）和SmartNIL®技术 ■全自动压印和受控的低力分离，可很大程度地重复使用工作印章 ■具备工作印章制造能力 EVG®770：连续重复的纳米压印光刻技术，可进行有效的母版制作 ■用于晶圆级光学器件的微透镜的高 效母模制造，直至SmartNIL®的纳米结构 ■不同类型的母版的简单实现 ■可变的光刻胶分配模式 ■分配，压印和脱模过程中...

EVG ® 510 HE是EVG500系列的热压印系统 EV Group的一系列高精度热压印系统基于该公司市场领先的晶圆键合技术。出色的压力和温度控制以及大面积的均匀性可实现高精度的压印。热压印是一种经济高 效且灵活的制造技术，对于尺寸低至50 nm的特征，其复制精度非常高。该系统非常适合将复杂的微结构和纳米结构以及高纵横比的特征压印到各种聚合物基材或旋涂聚合物中。压模与基板对准的组合可将热压纹与预处理的基板结构对准。这个系列包含的型号有：EVG®510HE，EVG®520HE。 EV Group能够提供混合和单片微透镜成型工艺。纳米压印质保期多久 NIL系统肖特...

该公司的高科技粘合剂以功能与可靠性闻名于世。根据客户的专门需求，公司对这些聚合物作出调整，使其具备其它特征。它们极其适合工业环境，在较短的生产周期时间内粘合各种微小的元件。此外，DELO紫外线LED固化设备与点胶阀的可靠度十分杰出。关于德路德路(DELO)是世界前列的工业粘合剂制造商，总部位于德国慕尼黑附近的Windach。在美国、中国、新加坡及日本均设有子公司。2019财政年，公司的780名员工创造了。该公司产品在全球范围内广泛应用于汽车、消费类电子产品与工业电子产品。几乎每一部智能手机与超过一半的汽车上都使用该公司产品。DELO的客户包括博世、戴姆勒、华为、欧司朗、西门子以及索尼等...

客户示范 ■工艺开发 ■材料测试 ■与合作伙伴共同研发 ■资助项目 ■小批量试生产 ■IP管理 ■过程技术许可证 ■流程培训 →世界前列的洁净室基础设施 →**的设备 →技术专家 →**计量 →工艺知识 →应用知识 →与NIL的工作印模材料和表面化学有关的化学专业知识 新应用程序的开发通常与设备功能的提高紧密相关。 EVG的NIL解决方案能够产生具有纳米分辨率的多种不同尺寸和形状的图案，并在显示器，生物技术和光子应用中实现了许多新的创新。 岱美作为EVG在中国区的代理商，欢...

HERCULES®NIL：完全集成的纳米压印光刻解决方案，可实现300 mm的大批量生产 ■批量生产低至40 nm的结构或更小尺寸（分辨率取决于过程和模板） ■结合了预处理（清洁/涂布/烘烤/冷却）和SmartNIL®技术 ■全自动压印和受控的低力分离，可很大程度地重复使用工作印章 ■具备工作印章制造能力 EVG®770：连续重复的纳米压印光刻技术，可进行有效的母版制作 ■用于晶圆级光学器件的微透镜的高 效母模制造，直至SmartNIL®的纳米结构 ■不同类型的母版的简单实现 ■可变的光刻胶分配模式 ■分配，压印和脱模过程中...