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ALD循环数波动如何影响薄膜厚度？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-08-19

ALD循环数波动±1循环（约0.1nm），薄膜厚度偏差<0.1%，可忽略不计。

本回答由 江苏优众微纳半导体科技有限公司 提供

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联系人： 刘娟

手   机： 19827086768

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