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DOE台阶侧壁角度误差如何影响衍射波前质量?

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-08-16

台阶侧壁角度偏差从90°降至85°,波前相位误差从λ/50增至λ/30,衍射效率降低5%。

江苏优众微纳半导体科技有限公司
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简介:江苏优众微纳半导体科技有限公司专注于纳米压印技术,提供半导体微纳器件解决方案。
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