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微透镜阵列的基底翘曲如何影响面型精度？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-08-15

基底翘曲从50μm增至200μm，透镜面型PV值从80nm增至250nm，需应力补偿设计。

本回答由 江苏优众微纳半导体科技有限公司 提供

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联系人： 刘娟

手   机： 19827086768

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