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湿法腐蚀的晶向选择性如何影响表面粗糙度？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-08-12

(100)晶向比(111)各向同性偏差从30%降至5%，表面粗糙度从10nm降至2nm。

本回答由 江苏优众微纳半导体科技有限公司 提供

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简介：江苏优众微纳半导体科技有限公司专注于纳米压印技术，提供半导体微纳器件解决方案。
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江苏优众微纳半导体科技有限公司

联系人： 刘娟

手   机： 19827086768

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江苏省南通市通州区南通高新技术产业开发区双福路126号
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