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TGV玻璃通孔化学机械抛光如何影响表面平整度？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-09-20

CMP压力偏差>15%时，玻璃表面平整度从<5μm恶化至>10μm，影响后续光刻对准。

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简介：江苏优众微纳半导体科技有限公司专注于纳米压印技术，提供半导体微纳器件解决方案。
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联系人： 刘娟

手   机： 19827086768

网   址： http://www.yz-micronano.com/about.html

地   址：
江苏省南通市通州区南通高新技术产业开发区双福路126号
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