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ALD的寄生CVD如何通过温度窗口选择避免？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-08-15

ALD温度窗口(150-300°C)选择，寄生CVD从5%降至<0.1%，薄膜纯度提升。

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联系人： 刘娟

手   机： 19827086768

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江苏省南通市通州区南通高新技术产业开发区双福路126号
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