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微纳结构侧壁钝化如何防止氧化？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-08-16

侧壁钝化（如原子层沉积Al₂O₃ 5nm）可将氧化速率降低至未钝化器件的1/10。

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联系人： 刘娟

手   机： 19827086768

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江苏省南通市通州区南通高新技术产业开发区双福路126号
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