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氯基气体如何控制铝刻蚀垂直度？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-08-17

调节Cl₂/BCl₃比例和腔室压力，铝刻蚀侧壁角度85-90°。

本回答由 江苏优众微纳半导体科技有限公司 提供

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联系人： 刘娟

手   机： 19827086768

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江苏省南通市通州区南通高新技术产业开发区双福路126号
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