杭州芯纪源半导体设备有限公司2025-08-30
立即停止仪器运行,防止因轴承损坏进一步扩大故障范围。拆卸扫描轴上与轴承相关的部件,小心取出损坏的轴承,注意保护周围的精密零件,避免造成二次损伤。
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