杭州芯纪源半导体设备有限公司2026-01-27
日常维护包括耦合液更换、探头清洁和机械部件润滑。例如,国产设备建议每8小时更换一次去离子水耦合液,每月用无尘布擦拭探头凹面,每季度对三轴伺服电机加注润滑油,年维护成本约占设备价值的3%。
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