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如何选择扫描范围与分辨率的平衡点?

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杭州芯纪源半导体设备有限公司2025-05-22

大范围扫描(如12.9×12.4英寸)需降低分辨率(如2048×2048),小范围高精度扫描(如1×1mm)可提升至8192×8192分辨率。

杭州芯纪源半导体设备有限公司
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简介:杭州芯纪源成立于 2024 年,融合声、光及 AI 算法,专注半导体检测设备研发制造,提供超声检测。
简介: 杭州芯纪源成立于 2024 年,融合声、光及 AI 算法,专注半导体检测设备研发制造,提供超声检测。
水浸式超声扫描仪2
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其余 2 条回答

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    杭州芯纪源半导体设备有限公司 2025-05-24

    根据样品尺寸调整扫描步进,例如晶圆级检测采用0.5μm步进,模块级检测采用5μm步进,兼顾效率与精度。

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    杭州芯纪源半导体设备有限公司 2025-05-28

    通过多探头阵列(如四探头同步扫描)与动态聚焦技术,可在保持大范围扫描的同时,局部区域分辨率提升至1μm级。 应用领域类

  • 杭州芯纪源半导体
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