智能ThermalEMMI系统组成

ThermalEMMI 测试过程中，不建议盲目加大激励条件试图得到热点信号，部分操作人员遇到 ThermalEMMI 看不到热点，就持续抬升电压电流，希望逼迫器件产生温升信号。超出器件规格的激励，很容易直接造成器件长期性损伤，生成不属于原始失效的新缺陷，后续 ThermalEMMI 记录的是过应力带来损伤的热信号，而非样品原本失效，ThermalEMMI 图像失去分析价值。遇到 ThermalEMMI 没有检出热点，优先复盘电性测试，确认失效是否复现，检查样品前处理、光路参数，再小幅度调整激励，全程做好器件限流保护。苏州致晟光电科技有限公司的 ThermalEMMI 配套资料提醒使用者规避过度施加激励获取 ThermalEMMI 信号的操作。芯片级Thermal EMMI是研发团队查找短路、击穿等微缺陷的常用工具。智能ThermalEMMI系统组成

ThermalEMMI 面对厚金属层覆盖的样品，表层金属会反射红外辐射，阻挡下层缺陷产生的热辐射向外传播，ThermalEMMI 很难接收到下层产生的热信号，ThermalEMMI 检出下层热点的难度大幅提升。金属层厚度越大，红外穿透能力越弱，下层缺陷产生的热辐射很难透过金属层抵达探测器。如果失效发生在金属层下方，需要评估去除表层金属层的可行性，完成样品前处理，移除遮挡金属之后，再开展 ThermalEMMI 测试。如果无法做去除金属层的处理，就需要搭配其他不需要红外穿透的失效定位手段。苏州致晟光电科技有限公司的 ThermalEMMI 配套文档介绍金属层遮挡对 ThermalEMMI 测试带来的局限。PCB ThermalEMMI显微光学系统Thermal EMMI价格受型号、探测灵敏度及冷却系统影响，差异较大。

ThermalEMMI 图像的距离测量工具，可以在 ThermalEMMI 热图像之上测算各个热点之间的像素距离，结合镜头倍率换算成样品平面上的物理间距，ThermalEMMI 借助该功能对比多热点之间的位置关系，ThermalEMMI 辅助对标版图内部电路单元的排布。该测量得到的是热点光斑之间的相对间距，受热扩散与光学衍射影响，不能用来测量缺陷本身真实几何尺寸，只适合做点位之间位置比对。在一张 ThermalEMMI 图像标记多处热点，分别读取相互之间距离，再对照版图上电路单元间距，辅助判断热点对应哪一组电路结构。苏州致晟光电科技有限公司的 ThermalEMMI 软件内置距离测量工具，支持在 ThermalEMMI 图像完成点位间距测算。

ThermalEMMI 软件的图像配准功能，能够将 ThermalEMMI 热图像和明场显微图像、芯片版图完成位置对齐，ThermalEMMI 完成配准之后，热点坐标可以映射到对应的电路单元，ThermalEMMI 可以帮助分析人员快速知晓热点对应晶体管、通孔或者走线区域。只依靠 ThermalEMMI 热图像只能看到温升区域，无法判断热点对应芯片内部哪一部分电路，导入 GDS 版图文件，选取芯片上多处特征标记完成多点对齐，提升 ThermalEMMI 图像和版图匹配的贴合程度。配准过程如果基准点选取存在偏差，会造成热点映射位置偏移，给后续机理推导带来干扰。完成配准之后，需要选取已知结构做验证，确认 ThermalEMMI 热点映射位置准确。苏州致晟光电科技有限公司的 ThermalEMMI 系统软件内置版图导入与配准工具，简化 ThermalEMMI 图像的对标操作。Thermal EMMI探测器是决定灵敏度与响应速度的关键部件。

ThermalEMMI 处理倒装芯片样品会面临热信号衰减问题，倒装芯片电路面朝向基板，热量需要穿过硅衬底才能够传递到 ThermalEMMI 的探测光路，ThermalEMMI 接收的热辐射经过硅材料吸收之后信号强度会下降，ThermalEMMI 识别微弱热点的难度随之提升。硅衬底厚度越大，红外辐射被吸收的比例越高，当信号衰减过于严重，ThermalEMMI 很难捕捉下层电路产生的温升，此时可以评估衬底减薄的可行性，降低红外辐射传播路径上的材料厚度。部分波段红外在硅材料内部穿透能力更强，可以切换适配的滤光片，优先选取穿透性更优的波段开展 ThermalEMMI 成像。同时结合器件堆叠结构，区分热点来自上层还是下层芯片。苏州致晟光电科技有限公司的 ThermalEMMI 配套文档介绍倒装芯片开展 ThermalEMMI 测试的处理思路。Thermal EMMI检测能在样品通电状态下实时观察发热分布。湖北高精度ThermalEMMI公司

中波制冷Thermal EMMI在微弱热信号成像上具备更高灵敏度，适合纳米级分析。智能ThermalEMMI系统组成

ThermalEMMI 的对焦品质直接决定 ThermalEMMI 热图像清晰度，样品表面偏离镜头焦平面，明场图像变得模糊，ThermalEMMI 热图像同样会虚化，热点光斑弥散扩大，信号分散到多个像素，ThermalEMMI 图像信噪比下降。样品摆放倾斜、样品台高度偏移、样品表面高低落差，都会引发对焦失准。正式启动长积分 ThermalEMMI 采集之前，完成明场对焦，确认图像锐利清晰，再开始热图像采集。遇到表面起伏较大样品，选取重点关注的失效区域完成对焦，保障目标位置 ThermalEMMI 图像品质。苏州致晟光电科技有限公司的 ThermalEMMI 具备辅助对焦功能，帮助使用者快速完成对焦，保障 ThermalEMMI 图像清晰度。智能ThermalEMMI系统组成

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