氦质谱检漏仪的工作原理是对离子源电离的氦气分子数量进行量化，而到达质谱室离子源的氦气分子数量只是泄漏的分子总量的一部分，这就是分流比。在环境参数变化时，这个分流比会有变化，检漏仪根据内置漏孔1个点做出的拟合曲线很难做到符合全量程：例如一台检漏仪的内置漏孔是E-7mbarL/s，说明这台检漏仪在接近E-7mbarL/s的漏率区间如[E-6,E-8]是可能准确的，可能到E-9就很不准确。建议用2个标准漏孔对氦质谱检漏仪进行标定。事实上，包括很多主流检漏仪厂家Z初都是不提供内置漏孔自检的，而是用户购置接近自己工件要求漏率的标准漏孔进行标定。如待测工件合格漏率要求为2.50x10-8mbar.L/s,Z好是购置一个接近该漏率的标准漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，经过校准的检漏仪不需要自检通过也能准确的判断产品是否合格。建议用户在选购外置标准漏孔，尽量接近产品合格要求漏率，东贝真空可以提供从E-2到E-12mbarL/s的标准漏孔。用户可选用带气室的标准漏孔或开放式漏孔。标准漏孔使用压力不能超过额定值 。江苏气密性标准漏孔应用
检漏仪内置标准漏孔目前通常是厂家提供的铝制渗氦标准漏孔， 漏率一般是10-8 Pa·m3/s量级， 东贝真空制作的内置标准漏孔是采用微通道毛细管的通道型漏孔。检漏仪内置标准漏孔的特点是抗震抗摔，使用寿命较长：检漏仪自带漏孔为渗氦漏孔，泄漏元件是玻璃渗透膜，非常容易破碎损坏，而且不能充气重复使用，厂家建议一般2年更换一次漏孔，上海东贝真空采用的微通道毛细管通道型漏孔，抗震抗摔，使用寿命一般为渗透膜材质漏孔几倍甚至更长。扬州正压漏孔特点标准漏孔性能受环境压力因素直接影响。
差压检漏法差压检漏法的原理启蒙于医用天平，它是精确测量微量物品质量的测量工具。使用者通过仔细调整天平一端的砝码使两端达到严格平衡，这样被测物的质量就可通过砝码反映出来。差压气密检漏仪的原理同天平一样，首先我们将相同压力的气体同时充入到被测物和基准物内，使差压传感器隔离板两边的压力完全相等，然后观察其平衡情况。若被测物不漏，那么差压传感器隔离板两边的压力将保持平衡。如果被测物存在泄漏，那么它内部的压力会逐渐降低，平衡就被破坏。这样传感器就可以检测出隔离板两侧因泄漏产生的差压。而且，如果发生泄漏，泄漏率（ml/sec）的大小将直接反映在两侧压力的失衡速度上。
渗氦型标准漏孔是利用氦气对石英大多数玻璃或四氟乙烯有高的渗透性这一特性制作。此类型漏孔对污染不敏感；长时间内漏率稳定；漏率可以做得很小。渗氦型标准漏孔的充装气体为氦气，其漏率范围一般在10负5-10负13Pa·m3/s之间。此外，渗氦型标准漏孔的示值允许偏差为±15%，温度补偿约为3%/°C，并且具有优异的抗堵塞能力和长时间内漏率稳定的特性，出口阀门为手动(选配)，接口为KF25/M14*1.5(内)或定制，出口为真空，可重复充气。年衰减率根据漏率的不同而有所差异，例如，对于10-7Pa·m3/s的漏率，年衰减率小于或等于10%/y;对于10-8Pa·m3/s的漏率，年衰减率小于或等于3%/y;以此类推，直到10-12Pa·m3/s的漏率，年衰减率小于或等于0.1%/y。标准漏孔在医疗设备检漏中作用重要。
氦质谱检漏法氦质谱检漏技术出现在第二次世界大战中，经过不断的改进发展，氦质谱检漏技术已经成为迄今灵敏、方便的检漏手段。我国质谱检漏仪的检测精度已经达到了10-14Pa·m3/s，国外质谱检漏仪检测精度达到了10-16Pa·m3/s。质谱检漏法的原理是利用不同质荷比（m/e）的离子在磁场中受洛伦兹力不同而做圆周运动半径不同的原理，将不同质荷比的离子分开，在相应半径上收集到示踪气体，如果被检件出现泄漏，则会检测到示踪气体离子，再通过相应计算得出漏率大小。氦气在空气中的含量低，又是惰性气体，使其成为了常用的示踪气体。利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法很多，较早的是喷吹法，以后逐渐出现了氦罩法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、背压法及前级泵出口采样法等多种氦质谱检漏技术方法。漏孔检测前需明确检测范围及标准。标准漏孔的漏率
标准漏孔应避免频繁拆卸和安装。江苏气密性标准漏孔应用
检漏仪内置标准漏孔的优点是漏率稳定：检漏仪自带的渗氦漏孔，温度系数一般为3.0%~4.0%/℃，由于天气原因不同的温差，以及检漏仪内部开机前后内部相对封闭环境的温度变化等，均会对漏孔的漏率影响相对较大，而且渗氦漏孔的稳定时间非常长，通常来说是需要几个小时的，这必然会造成检漏仪上的偏差；上海东贝真空采用的是微通道毛细管技术它的温度补偿小于0.3%/℃，可以忽略温度补偿（温度变化10℃漏率变化相当于渗氦漏孔变化1℃）。江苏气密性标准漏孔应用