标准漏孔用于来校准腔体检漏设备,以确保芯片生产环境的高真空度,避免微小的泄漏影响产品的质量,是电子产业质量控制的重要工具。标准漏孔的使用寿命与使用频率、于工作环境密切相关,频繁的在高温、腐蚀性气体中使用起来会缩短其寿命,只要定期维护和校准可延长其有效的使用时间。正确使用标准漏孔是保证检漏工作质量的前提,操作人员需经过技术培训,熟悉其性能、特点、流程和操作规范,避免因误操作导致的计量误差或设备损坏。标准漏孔使用时需缓慢调节压力避免冲击 。福州渗氦标准漏孔
检漏方法:人们对于泄漏的检测很早就已经出现,检漏方法也经历了从简单的定性检测到现代复杂的定量检测过程。检漏方法根据被检设备所处的状态又可分为加压检漏法和真空检漏法。加压检漏法将被检件内部充以比外部压力更高的示踪气体,在被检件外面用适当的方法判断有无示踪气体漏出、从哪儿漏出、漏出量多少等,进而判断被检件有无泄漏点,泄漏点的位置和大小。属于这种方法的有压降法、气泡法、卤素检漏仪外探头法、卤素喷灯法、加压渗透法、声波法、红外线热图像法、称质量法、放射性同位素法。真空检漏法被检件内部抽成真空后,将示踪气体施于被检件外部,如果被检件器壁上有漏,示踪气体通过泄漏点进入被检件内部,利用某种方法将漏进的示踪气体检测出来,从而判断出泄漏点的位置和漏率大小。属于这种方法的有静态升压法、放电管法、卤素检漏仪内探头法、各类真空计法、离子泵检漏法、氦质谱喷吹和氦罩检漏法等。天津气密性漏孔参数标准漏孔漏率偏差需把控在允许范围内 。
航空航天领域对密封性能要求极高,标准漏孔在此类场景中用于校准航天器密封件检漏设备,确保燃料舱、舱体等关键部件无泄漏,确保飞行安全与任务顺利执行。在医疗设备领域,标准漏孔用于校准氧舱的检漏仪器,确保舱体密封性能达标,避免氧气泄漏引发安全问题,是确保患者安全的重要计量工具。标准漏孔的重复性是重要性能指标,指在相同条件下多次测量的泄漏率偏差程度。重复性越好,表明漏孔性能越稳定,适用于对精度要求高的长期校准工作。
标准漏孔的运输过程需要避免剧烈震动和碰撞,防止内部结构变形。部分精密漏孔会采用防震包装,并标注“轻放”标识,以减少运输对其性能的潜在影响。气体压力差是标准漏孔工作的必要条件,通常需在漏孔两侧建立稳定的压力环境。压力波动过大会导致泄漏率不稳定,因此实际应用中需配备压力调节与稳定装置。长期未使用的标准漏孔在启用前,应进行预热和通气处理,排除内部残留的杂质气体,使漏孔内部状态达到稳定,确保测量的准确性。标准漏孔的漏率范围可满足不同检测需求 。
JJF1946-2022《卤素检漏仪校准规范》,规范条文解释:本规范适用于可检漏率为(1.0×10-6~1.0×10-4)Pa.m3/s的卤素检漏仪的校准,其他制冷剂的检漏仪也可以参考本规范执行。解释:与目前卤素检漏仪校准用标准器(卤素标准漏孔)的可溯源范围相适应,待发布的正压漏孔校准规范使用范围(10-6~10-4)Pa.m3/s,与检漏仪的实际测量范围(1-10)g/a对应。测量标准:测量标准为提供某种特定卤素气体的已知漏率的卤素标准漏孔,如表所示,卤素标准漏孔应具有定位槽以便于检漏仪定位。解释:通常配备多个标准漏孔,一个标准漏孔对应一种示漏气体,根据被校检漏仪选择相应的标准漏孔。漏孔大小直接决定泄漏量及影响程度。通道型标准漏孔
标准漏孔的参数需符合相关行业标准要求。福州渗氦标准漏孔
气泡检漏法气泡法是出现比较早的检漏方法,以其操作简单,成本低廉而得到广泛应用。其原理是当漏孔两侧存在压差时,气体就会通过泄漏点从高压侧向低压侧流动,如果将被测件放入液体中,将会出现气泡,通过观察气泡产生位置可以确定泄漏点位置,通过收集气体或者数气泡的方法测量漏率。使泄漏点两侧产生压差的方法有三种:充气法,热槽法和抽真空法。充气法首先向被检件中冲入气体,使其压力上升到规定值,然后将被检件放入液体中,观察气泡。这样的检测结果很大程度上取决于测试者本人的判断,而且光凭气泡很难确定出泄漏率的大小。同时这些方法还可能带来另外一些问题,如对被测物进行拆卸,清洗,烘干,涂防锈漆等额外工作。福州渗氦标准漏孔