北京渗氦漏孔

检漏仪内置标准漏孔的优点是漏率稳定：检漏仪自带的渗氦漏孔，温度系数一般为3.0%~4.0%/℃，由于天气原因不同的温差，以及检漏仪内部开机前后内部相对封闭环境的温度变化等，均会对漏孔的漏率影响相对较大，而且渗氦漏孔的稳定时间非常长，通常来说是需要几个小时的，这必然会造成检漏仪上的偏差； 上海东贝真空采用的是微通道毛细管技术它的温度补偿小于0.3%/℃，可以忽略温度补偿（温度变化10℃漏率变化相当于渗氦漏孔变化1℃）。标准漏孔应避免接触各类腐蚀性气体介质。北京渗氦漏孔

气密性标准漏孔的原理是利用节流效应来实现气体的泄漏。具体来说，当气体通过漏孔时，由于孔径的限制和节流效应的作用，气体的流量是会受到一定的限制，从而实现气体上的泄漏。通过来调节漏孔的大小和孔径，可以控制气体的泄漏速率和流量，从而模拟出不同的气体泄漏情况。可做正压/真空标准漏孔、响应速度快，等待时间短、受外界温度变化影响小，温度系数小于0.5%/℃、耐高温，耐冲击，抗震，抗摔，寿命长、支持定制多种规格接头，可配置不同品牌设计、漏率范围广，支持漏率定制，支持同时指定漏率和压力。北京渗氦漏孔漏孔检测前需明确检测范围及标准。

正压漏率与真空漏率:正压漏率是指泄漏到大气的漏率，真空漏率是泄漏到真空的漏率。漏孔漏率包含分子流与粘滞流，其中分子流与压力差成正比，粘滞流与压力平方差成正比。一般来说，对于同一个漏孔，内部压力>10Bar，正压漏率≈真空漏率。漏孔压力与漏率衰减计算:10-1-10-6mbar.L/sec的漏孔,漏率与压力平方成近似正比，压力衰减，漏率也会衰减。计算时假定一段时间△t漏率不变，例如1个160cc的气室，充气压力106bar，起始漏率=2.80E-5mbar.L/s。我们取1天为△t，以计算1天衰减后的压力和漏率(同样△t可以去1h,1min,或ls，乃至更小，但计算量线性增加)再以该计算的漏率计算第2天衰减后的压力和漏率，以此类推，可以计算1年或某个时间的压力衰减及漏率。

标准漏孔是计量领域中用于校准检漏仪器的关键器件，其作用是提供可追溯、稳定的气体泄漏率。它通过精确把控气体流量，模拟真实泄漏场景，为检漏设备的准确性提供基准。标准漏孔的工作原理基于气体流动规律，通常采用特定材料或结构形成固定通道，使气体在规定压力下以恒定速率通过。常见的结构包括毛细管型、膜片型等，不同类型适用于不同的检漏环境。在真空检漏领域，标准漏孔是确保检测精度的基础。它能帮助操作人员校准氦质谱检漏仪等设备，避免因仪器误差导致的漏检或误判，保护真空系统的密封性能。标准漏孔的参数需符合相关行业标准要求。

氦质谱检漏仪的工作原理是对离子源电离的氦气分子数量进行量化，而到达质谱室离子源的氦气分子数量只是泄漏的分子总量的一部分，这就是分流比。在环境参数变化时，这个分流比会有变化，检漏仪根据内置漏孔1个点做出的拟合曲线很难做到符合全量程：例如一台检漏仪的内置漏孔是E-7mbarL/s，说明这台检漏仪在接近E-7mbarL/s的漏率区间如[E-6,E-8]是可能准确的，可能到E-9就很不准确。建议用2个标准漏孔对氦质谱检漏仪进行标定。事实上，包括很多主流检漏仪厂家Z初都是不提供内置漏孔自检的，而是用户购置接近自己工件要求漏率的标准漏孔进行标定。如待测工件合格漏率要求为2.50x10-8mbar.L/s,Z好是购置一个接近该漏率的标准漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，经过校准的检漏仪不需要自检通过也能准确的判断产品是否合格。建议用户在选购外置标准漏孔，尽量接近产品合格要求漏率，东贝真空可以提供从E-2到E-12mbarL/s的标准漏孔。用户可选用带气室的标准漏孔或开放式漏孔。标准漏孔可用于检漏人员的培训工作。北京渗氦漏孔

标准漏孔老化会导致漏率发生明显变化 。北京渗氦漏孔

氦气真空漏孔的溯源国内开展的比较早也相对成熟一些，各级标准已经建立，检定规程或校准规范也早已颁布。但对其他气体的校准还需要完善，并需要对不带氦气室漏孔校准方法和规范内容需要增加气源方式和要求。该部分标准漏孔量值溯源标准包括相对比较法漏率校准装置。应为装置成本和操作性的要求，在计量院和从事真空检漏量值溯源研究的院所可以采用，对于以开展量值溯源为主要任务，技术能级有所欠缺的省市和企业级别的校准实验室建议以相对比较法漏率校准装置为主。特别建议采用检漏仪比对装置，该装置操作简单，成本低等特点，对实验室应该避免采用残余气体四极质谱分析仪（RGA），因为该仪器悟操作容易造成仪器的损坏，影响工作效率和增加维修成本。北京渗氦漏孔

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