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吉林正性光刻胶

来源: 发布时间:2025年06月04日

• 化学反应:

◦ 正性胶:曝光后光敏剂(如重氮醌DQN)分解,生成羧酸,在碱性显影液中溶解;

◦ 负性胶:曝光后光敏剂引发交联剂与树脂形成不溶性网状结构。

5. 显影(Development)

• 显影液:

◦ 正性胶:碱性水溶液(如0.26N四甲基氢氧化铵TMAH),溶解曝光区域;

◦ 负性胶:有机溶剂(如二甲苯、醋酸丁酯),溶解未曝光区域。

• 方法:喷淋显影(PCB)或沉浸式显影(半导体),时间30秒-2分钟,需控制显影液浓度和温度。

6. 后烘(Post-Bake)

• 目的:固化胶膜,提升耐蚀刻性和热稳定性。

• 条件:

◦ 温度:100-150℃(半导体用正性胶可能更高,如180℃);

◦ 时间:15-60分钟(厚胶或高耐蚀需求时延长)。

7. 蚀刻/离子注入(后续工艺)

• 蚀刻:以胶膜为掩膜,通过湿法(酸碱溶液)或干法(等离子体)刻蚀基板材料(如硅、金属、玻璃);

• 离子注入:胶膜保护未曝光区域,使杂质离子只能注入曝光区域(半导体掺杂工艺)。

8. 去胶(Strip)

• 方法:

◦ 湿法去胶:强氧化剂(如硫酸+双氧水)或有机溶剂(如N-甲基吡咯烷酮NMP);

◦ 干法去胶:氧等离子体灰化(半导体领域,无残留)。

吉田半导体强化研发,布局下一代光刻技术。吉林正性光刻胶

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 上游原材料:

◦ 树脂:彤程新材、鼎龙股份实现KrF/ArF光刻胶树脂自主合成,金属杂质含量<5ppb(国际标准<10ppb)。

◦ 光引发剂:久日新材攻克EUV光刻胶原料光致产酸剂,累计形成吨级订单;威迈芯材合肥基地建成100吨/年ArF/KrF光刻胶主材料产线。

◦ 溶剂:怡达股份电子级PM溶剂全球市占率超40%,与南大光电合作开发配套溶剂,技术指标达SEMI G5标准。

设备与验证:

◦ 上海新阳与上海微电子联合开发光刻机适配参数,验证周期较国际厂商缩短6个月;徐州博康实现“单体-树脂-成品胶”全链条国产化,适配ASML Twinscan NXT系列光刻机。

◦ 国内企业通过18-24个月的晶圆厂验证周期(如中芯国际、长江存储),一旦导入不易被替代。
江苏纳米压印光刻胶多少钱吉田半导体产品矩阵。

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吉田半导体 SU-3 负性光刻胶:国产技术赋能 5G 芯片封装

自主研发 SU-3 负性光刻胶支持 3 微米厚膜加工,成为 5G 芯片高密度封装材料。
针对 5G 芯片封装需求,吉田半导体自主研发 SU-3 负性光刻胶,分辨率达 1.5μm,抗深蚀刻速率 > 500nm/min。其超高感光度与耐化学性确保复杂图形的完整性,已应用于高通 5G 基带芯片量产。产品采用国产原材料与工艺,不采用国外材料,成本较进口产品降低 40%,帮助客户提升封装良率至 98.5%,为国产 5G 芯片制造提供关键材料支撑。

关键工艺流程

 涂布与前烘:

◦ 旋涂或喷涂负性胶,厚度可达1-100μm(远厚于正性胶),前烘温度60-90℃,去除溶剂并增强附着力。

 曝光:

◦ 光源以**汞灯G线(436nm)**为主,适用于≥1μm线宽,曝光能量较高(约200-500mJ/cm²),需注意掩膜版与胶膜的贴合精度。

 显影:

◦ 使用有机溶剂显影液(如二甲苯、醋酸丁酯),未曝光的未交联胶膜溶解,曝光的交联胶膜保留。

 后处理:

◦ 后烘(Post-Bake):加热(100-150℃)进一步固化交联结构,提升耐干法蚀刻或湿法腐蚀的能力。

吉田半导体光刻胶,45nm 制程验证,国产替代方案!

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 全品类覆盖与定制化能力
吉田半导体的光刻胶产品覆盖芯片光刻胶、纳米压印光刻胶、LCD光刻胶等全品类,适用于半导体、显示面板、MEMS等多个领域。例如,其LCD正性光刻胶YK-200和水油光刻胶JT-2001可满足0.45μm及以上线宽需求,支持客户定制化工艺参数,尤其在柔性显示(OLED)和Mini/Micro LED等新兴领域表现突出。
技术亮点:通过自主研发的树脂配方和光敏剂体系,实现了高分辨率(120nm)和高抗蚀性的平衡,部分指标(如线宽粗糙度LWR<3nm)接近国际主流产品水平。

 国产化材料与工艺适配
公司采用进口原材料+本地化生产模式,关键树脂单体、光敏剂等主要成分通过德国默克、日本信越等供应商采购,同时建立了超纯提纯工艺(杂质含量<1ppm),确保产品稳定性。此外,其光刻胶与国内主流光刻机(如上海微电子SSA800)、匀胶显影机(如盛美上海)的兼容性已通过验证,缩短客户工艺调试周期。
吉田半导体全系列产品覆盖,满足多元化需求。辽宁水性光刻胶厂家

告别显影残留!化学增幅型光刻胶助力封装。吉林正性光刻胶

市场与客户优势:全球化布局与头部客户合作

 全球客户网络
产品远销全球,与三星、LG、京东方等世界500强企业建立长期合作,在东南亚、北美市场市占率超15%。

 区域市场深耕
依托东莞松山湖产业集群,与华为、OPPO等本土企业合作,在消费电子、汽车电子领域快速响应客户需求。

产业链配套优势:原材料与设备协同

 主要原材料自主化
公司自主生产光刻胶树脂、光引发剂,降低对进口依赖,成本较国际竞品低20%。

 设备与工艺协同
与国内涂胶显影设备厂商合作,开发适配国产设备的光刻胶配方,提升工艺兼容性。

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标签: 锡片 光刻胶 锡膏