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吉林紫外光刻胶国产厂商
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发布时间：2025年05月31日
晶圆制造（前道工艺）
• 功能：在硅片表面形成高精度电路图形，是光刻工艺的主要材料。
• 细分场景：
◦ 逻辑/存储芯片：用于28nm及以上成熟制程的KrF光刻胶（分辨率0.25-1μm）、14nm以下先进制程的ArF浸没式光刻胶（分辨率≤45nm），以及极紫外（EUV）光刻胶（目标7nm以下，研发中）。
◦ 功率半导体（如IGBT）：使用厚膜光刻胶（膜厚5-50μm），满足深沟槽刻蚀需求。
◦ MEMS传感器：通过高深宽比光刻胶（如SU-8）实现微米级结构（如加速度计、陀螺仪的悬臂梁）。
芯片封装（后道工艺）
• 先进封装技术：
◦ Flip Chip（倒装芯片）：用光刻胶形成凸点（Bump）下的 Redistribution Layer（RDL），线宽精度要求≤10μm。
◦ 2.5D/3D封装：在硅通孔（TSV）工艺中，光刻胶用于定义通孔开口（直径5-50μm）。
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光刻胶（Photoresist）是一种对光敏感的高分子材料，主要用于光刻工艺中，通过光化学反应实现图案的转移，是半导体、集成电路（IC）、印刷电路板（PCB）、液晶显示（LCD）等制造领域的材料之一。
光刻胶特性与组成
• 光敏性：在特定波长（如紫外光、极紫外光EUV等）照射下，会发生化学结构变化（如交联或分解），从而改变在显影液中的溶解性。
• 主要成分：
◦ 树脂（成膜剂）：形成基础膜层，决定光刻胶的机械和化学性能。
◦ 光敏剂：吸收光能并引发化学反应（如光分解、光交联）。
◦ 溶剂：调节粘度，便于涂覆成膜。
◦ 添加剂：改善性能（如感光度、分辨率、对比度等）。
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