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吉林UV纳米光刻胶国产厂家
来源：
发布时间：2025年05月19日
吉田半导体 YK-300 正性光刻胶：半导体芯片制造的材料
严苛光刻胶标准品质，吉田半导体绿色制造创新趋势。吉林UV纳米光刻胶国产厂家
天津网版光刻胶负性光刻胶的工艺和应用场景。
定义与特性
正性光刻胶是一种在曝光后，曝光区域会溶解于显影液的光敏材料，形成与掩膜版（Mask）图案一致的图形。与负性光刻胶（未曝光区域溶解）相比，其优势是分辨率高、图案边缘清晰，是半导体制造（尤其是制程）的主流选择。
化学组成与工作原理
主要成分
• 树脂（成膜剂）：
◦ 传统正性胶：采用**酚醛树脂（Novolak）与重氮萘醌（DNQ，光敏剂）**的复合体系（PAC体系），占比约80%-90%。
◦ 化学增幅型（用于DUV/EUV）：含环化烯烃树脂或含氟聚合物，搭配光酸发生器（PAG），通过酸催化反应提高感光度和分辨率。
• 溶剂：溶解树脂和感光剂，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯。
• 添加剂：表面活性剂（改善涂布均匀性）、稳定剂（防止暗反应）、碱溶解度调节剂等。
工作原理
• 曝光前：光敏剂（如DNQ）与树脂结合，形成不溶于碱性显影液的复合物。
• 曝光时：
◦ 传统PAC体系：DNQ在紫外光（G线436nm、I线365nm）照射下发生光分解，生成羧酸，使曝光区域树脂在碱性显影液中溶解性增强。
◦ 化学增幅型：PAG在DUV/EUV光下产生活性酸，催化树脂发生脱保护反应，大幅提高显影速率（灵敏度提升10倍以上）。
• 显影后：曝光区域溶解去除，未曝光区域保留，形成正性图案。
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工艺流程
• 目的：去除基板表面油污、颗粒，增强感光胶附着力。
• 方法：
◦ 化学清洗（硫酸/双氧水、去离子水）；
◦ 表面处理（硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化，PCB基板用粗化处理）。
涂布（Coating）
• 方式：
◦ 旋涂：半导体/显示领域，厚度控制精确（纳米至微米级），转速500-5000rpm；
◦ 喷涂/辊涂：PCB/MEMS领域，适合大面积或厚胶（微米至百微米级，如负性胶可达100μm）。
• 关键参数：胶液黏度、涂布速度、基板温度（影响厚度均匀性）。
前烘（Soft Bake）
• 目的：挥发溶剂，固化胶膜，增强附着力和稳定性。
• 条件：
◦ 温度：60-120℃（正性胶通常更低，如90℃；负性胶可至100℃以上）；
◦ 时间：5-30分钟（根据胶厚调整，厚胶需更长时间）。
曝光（Exposure）
• 光源：
◦ 紫外光（UV）：G线（436nm）、I线（365nm）用于传统光刻（分辨率≥1μm）；
◦ 深紫外（DUV）：248nm（KrF）、193nm（ArF）用于半导体先进制程（分辨率至20nm）；
◦ 极紫外（EUV）：13.5nm，用于7nm以下制程（只能正性胶适用）。
• 曝光方式：
◦ 接触式/接近式：掩膜版与胶膜直接接触（PCB、MEMS，低成本但精度低）；
◦ 投影式：通过物镜聚焦（半导体，分辨率高，如ArF光刻机精度达22nm）。
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