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大连LED光刻胶工厂

来源: 发布时间:2025年04月27日

工艺流程

• 目的:去除基板表面油污、颗粒,增强感光胶附着力。

• 方法:

◦ 化学清洗(硫酸/双氧水、去离子水);

◦ 表面处理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,PCB基板用粗化处理)。

 涂布(Coating)

• 方式:

◦ 旋涂:半导体/显示领域,厚度控制精确(纳米至微米级),转速500-5000rpm;

◦ 喷涂/辊涂:PCB/MEMS领域,适合大面积或厚胶(微米至百微米级,如负性胶可达100μm)。

• 关键参数:胶液黏度、涂布速度、基板温度(影响厚度均匀性)。

 前烘(Soft Bake)

• 目的:挥发溶剂,固化胶膜,增强附着力和稳定性。

• 条件:

◦ 温度:60-120℃(正性胶通常更低,如90℃;负性胶可至100℃以上);

◦ 时间:5-30分钟(根据胶厚调整,厚胶需更长时间)。

 曝光(Exposure)

• 光源:

◦ 紫外光(UV):G线(436nm)、I线(365nm)用于传统光刻(分辨率≥1μm);

◦ 深紫外(DUV):248nm(KrF)、193nm(ArF)用于半导体先进制程(分辨率至20nm);

◦ 极紫外(EUV):13.5nm,用于7nm以下制程(只能正性胶适用)。

• 曝光方式:

◦ 接触式/接近式:掩膜版与胶膜直接接触(PCB、MEMS,低成本但精度低);

◦ 投影式:通过物镜聚焦(半导体,分辨率高,如ArF光刻机精度达22nm)。

告别显影残留!化学增幅型光刻胶助力封装。大连LED光刻胶工厂

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聚焦先进封装需求,吉田半导体提供从光刻胶到配套材料的一站式服务,助力高性能芯片制造。
在 5G 芯片与 AI 处理器封装领域,吉田半导体研发的 SU-3 负性光刻胶支持 3μm 厚膜加工,抗深蚀刻速率 > 500nm/min,为高密度金属互连提供可靠支撑。其 BGA 助焊膏采用低温固化技术(180℃),焊接空洞率 < 5%;针筒锡膏适用于 01005 超微型元件,印刷精度达 ±5μm。通过标准化实验室与快速响应团队,公司为客户提供工艺优化建议,帮助降低生产成本,增强市场竞争力。济南3微米光刻胶报价半导体芯片制造,用于精细电路图案光刻,决定芯片性能与集成度。

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• 化学反应:

◦ 正性胶:曝光后光敏剂(如重氮醌DQN)分解,生成羧酸,在碱性显影液中溶解;

◦ 负性胶:曝光后光敏剂引发交联剂与树脂形成不溶性网状结构。

5. 显影(Development)

• 显影液:

◦ 正性胶:碱性水溶液(如0.26N四甲基氢氧化铵TMAH),溶解曝光区域;

◦ 负性胶:有机溶剂(如二甲苯、醋酸丁酯),溶解未曝光区域。

• 方法:喷淋显影(PCB)或沉浸式显影(半导体),时间30秒-2分钟,需控制显影液浓度和温度。

6. 后烘(Post-Bake)

• 目的:固化胶膜,提升耐蚀刻性和热稳定性。

• 条件:

◦ 温度:100-150℃(半导体用正性胶可能更高,如180℃);

◦ 时间:15-60分钟(厚胶或高耐蚀需求时延长)。

7. 蚀刻/离子注入(后续工艺)

• 蚀刻:以胶膜为掩膜,通过湿法(酸碱溶液)或干法(等离子体)刻蚀基板材料(如硅、金属、玻璃);

• 离子注入:胶膜保护未曝光区域,使杂质离子只能注入曝光区域(半导体掺杂工艺)。

8. 去胶(Strip)

• 方法:

◦ 湿法去胶:强氧化剂(如硫酸+双氧水)或有机溶剂(如N-甲基吡咯烷酮NMP);

◦ 干法去胶:氧等离子体灰化(半导体领域,无残留)。

  1. 全品类覆盖
    吉田半导体产品线涵盖正性 / 负性光刻胶、纳米压印光刻胶、LCD 光刻胶、厚膜光刻胶及水性光刻胶等,覆盖芯片制造、显示面板、PCB 及微纳加工等多领域需求,技术布局全面性于多数国内厂商。
  2. 关键技术突破
    纳米压印技术:JT-2000 纳米压印光刻胶耐高温达 250℃,支持纳米级精度图案复制,适用于第三代半导体(GaN/SiC)及 Mini LED 等新兴领域,技术指标接近国际先进水平。
    水性环保配方:JT-1200 水性感光胶以水为溶剂替代传统有机溶剂,低 VOC 排放,符合 RoHS 和 REACH 标准,环保性能优于同类产品。
    厚膜工艺能力:JT-3001 厚板光刻胶膜厚可控(达数十微米),满足高密度像素阵列及 MEMS 器件的制造需求。
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LCD显示

• 彩色滤光片(CF):

◦ 黑色矩阵(BM)光刻胶:隔离像素,线宽精度±2μm,透光率<0.1%。

◦ RGB色阻光刻胶:形成红/绿/蓝像素,需高色纯度(NTSC≥95%)和耐光性。

• 阵列基板(Array):

◦ 栅极绝缘层光刻胶:用于TFT-LCD的栅极图案化,分辨率≤3μm。

 OLED显示(柔性/刚性)

• 像素定义层(PDL)光刻胶:在基板上形成有机发光材料的 confinement 结构,线宽精度±1μm,需耐溶剂侵蚀(适应蒸镀工艺)。

• 触控电极(如ITO/PET):通过光刻胶图形化实现透明导电线路,线宽≤5μm。

 Mini/Micro LED

• 巨量转移前的芯片制备:使用高分辨率光刻胶(分辨率≤5μm)定义微米级LED阵列,良率要求>99.99%。
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产业链配套:原材料与设备协同发展。大连LED光刻胶工厂

对比国际巨头的差异化竞争力
维度 吉田光刻胶 国际巨头(如JSR、东京应化) 
技术定位 聚焦细分市场(如纳米压印、LCD) 主导高级半导体光刻胶(ArF、EUV) 
成本优势 原材料自主化率超80%,成本低20% 依赖进口原材料,成本高 
客户响应 48小时内提供定制化解决方案 认证周期长(2-3年) 
区域市场 东南亚、北美市占率超15% 全球市占率超60% 

风险与挑战

 前段技术瓶颈:ArF、EUV光刻胶仍依赖进口,研发投入不足国际巨头的1/10。

 客户认证周期:半导体光刻胶需2-3年验证,吉田尚未进入主流晶圆厂供应链。

 供应链风险:部分树脂(如ArF用含氟树脂)依赖日本住友电木。
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广东吉田半导体材料有限公司在同行业领域中,一直处在一个不断锐意进取,不断制造创新的市场高度,多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准,在广东省等地区的电工电气中始终保持良好的商业口碑,成绩让我们喜悦,但不会让我们止步,残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志,和谐温馨的工作环境,富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新,勇于进取的无限潜力,吉田半导体供应携手大家一起走向共同辉煌的未来,回首过去,我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜,相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围,我们更要明确自己的不足,做好迎接新挑战的准备,要不畏困难,激流勇进,以一个更崭新的精神面貌迎接大家,共同走向辉煌回来!

标签: 锡片 光刻胶