涂敷在透明光学元件表面、用来消除或减弱反射光以达增透目的的光学薄膜。又称增透膜。简单的减反射膜是单层介质膜,其折射率一般介于空气折射率和光学元件折射率之间,使用普遍的介质膜材料为氟化镁。减反射膜的工作原理是基于薄膜干涉原理。入射光在介质膜两表面反射后得两束相干光,选择折射率适当的介质膜材料,可使两束相干光的振幅接近相等,再控制薄膜厚度,使两相干光的光程差满足干涉极小条件,此时反射光能量将完全消除或减弱。反射能量的大小是由光波在介质膜表面的边界条件确定,适当条件下可完全没有反射光或只有很弱的反射光。
镀膜层能明显提升产品的耐磨性。河南真空镀膜加工厂商

PVD镀膜(离子镀膜)技术,其具体原理是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。特点,采用PVD镀膜技术镀出的膜层,具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系数)、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点,膜层的寿命更长;同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能。PVD镀膜能够镀出的膜层种类,PVD镀膜技术是一种能够真正获得微米级镀层且无污染的环保型表面处理方法,它能够制备各种单一金属膜(如铝、钛、锆、铬等),氮化物膜(TiN、ZrN、CrN、TiAlN)和碳化物膜(TiC、TiCN),以及氧化物膜(如TiO等)。PVD镀膜膜层的厚度—PVD镀膜膜层的厚度为微米级,厚度较薄,一般为0.3μm~5μm,其中装饰镀膜膜层的厚度一般为0.3μm~1μm,因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能,镀后不须再加工。河南真空镀膜加工厂商反应气体过量就会导致靶中毒。

LPCVD设备中较少用的是旋转式LPCVD设备和行星式LPCVD设备,因为其具有结构复杂、操作困难、沉积速率低、产能小等缺点。旋转式LPCVD设备和行星式LPCVD设备的主要优点是可以通过旋转衬底来改善薄膜的均匀性和厚度分布。旋转式LPCVD设备和行星式LPCVD设备可以根据不同的旋转方式进行分类。常见的分类有以下几种:(1)单轴旋转式LPCVD设备,是指衬底只围绕一个轴旋转;(2)双轴旋转式LPCVD设备,是指衬底围绕两个轴旋转;(3)多轴旋转式LPCVD设备,是指衬底围绕多个轴旋转。
PECVD(等离子增强化学气相沉积或等离子体辅助化学气相沉积),是一种利用等离子体在较低温度下进行沉积的一种薄膜生长技术。等离子体中大部分原子或分子被电离,通常使用射频(RF)产生,但也可以通过交流电(AC)或直流电(DC)在两个平行电极之间放电产生。PECVD是一种基于真空的工艺,通常在<0.1Torr的压力下进行,允许相对较低的基板温度,从室温到300°C。通过利用等离子体为这些沉积反应的发生提供能量,而不是将基板加热到很高的的温度来驱动这些沉积反应。由于PECVD沉积温度较低,沉积的薄膜应力较小,结合力更强。真空镀膜在电子产品中不可或缺。

LPCVD技术是一种在低压下进行化学气相沉积的技术,它有以下几个优点高质量:LPCVD技术可以在低压下进行高温沉积,使得气相前驱体与衬底表面发生充分且均匀的化学反应,形成高纯度、低缺陷密度、低氢含量、低应力等特点的薄膜材料。高均匀性:LPCVD技术可以在低压下进行大面积沉积,使得气相前驱体在衬底表面上有较长的停留时间和较大的扩散距离,形成高均匀性和高一致性的薄膜材料。高精度:LPCVD技术可以通过调节压力、温度、气体流量和时间等参数来控制沉积速率和厚度,形成高精度和可重复性的薄膜材料。高效率:LPCVD技术可以采用批量装载和连续送气的方式来进行沉积。真空镀膜技术能提升产品的市场竞争力。河南真空镀膜加工厂商
真空镀膜为产品提供完美的表面修饰。河南真空镀膜加工厂商
LPCVD设备的发展历史可以追溯到20世纪50年代,当时美国贝尔实验室的科学家们使用LPCVD方法在硅片上沉积多晶硅薄膜,并用于制造双极型晶体管。随后,LPCVD方法被广泛应用于制造金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)、动态随机存储器(DRAM)、太阳能电池等器件。20世纪70年代,LPCVD方法开始用于沉积氮化硅和氧化硅等绝缘薄膜,用于制造互连层、保护层、栅介质层等结构。20世纪80年代,LPCVD方法开始用于沉积碳化硅等宽禁带半导体薄膜,用于制造高温、高功率、高频率等特殊应用的器件河南真空镀膜加工厂商