东莞热压晶圆键合加工平台

研究所利用其作为中国有色金属学会宽禁带半导体专业委员会倚靠单位的优势，组织行业内行家围绕晶圆键合技术开展交流研讨。通过举办技术论坛与专题研讨会，分享研究成果与应用经验，探讨技术发展中的共性问题与解决思路。在近期的一次研讨中，来自不同机构的行家就低温键合技术的发展趋势交换了意见，形成了多项有价值的共识。这些交流活动促进了行业内的技术共享与合作，有助于推动晶圆键合技术的整体进步，也提升了研究所在该领域的学术影响力。晶圆键合实现传感与处理单元的单片异构集成。东莞热压晶圆键合加工平台

晶圆键合定义智能嗅觉新榜样。64通道MOF传感阵列识别1000种气味，肺病呼气筛查准确率98%。石油化工应用中预警硫化氢泄漏，响应速度快于传统探测器60秒。深度学习算法实现食品等级判定，超市损耗率降低32%。自清洁结构消除气味残留，为智能家居提供主要感知模块。晶圆键合实现核电池安全功能。锆合金-金刚石屏蔽体辐射泄漏量<1μSv/h，达到天然本底水平。北极科考站应用中实现-60℃连续供电，锂电池替换周期延长至15年。深海探测器"奋斗者"号搭载运行10909米，保障8K视频实时传输。模块化堆叠使功率密度达500W/L，为月球基地提供主要能源。

云南真空晶圆键合加工平台围绕第三代半导体器件需求，研究晶圆键合精度对器件性能的影响。

科研团队探索晶圆键合技术在柔性半导体器件制备中的应用，针对柔性衬底与半导体晶圆的键合需求，开发了适应性的工艺方案。考虑到柔性材料的力学特性，团队采用较低的键合压力与温度，减少衬底的变形与损伤，同时通过优化表面处理工艺，确保键合界面的足够强度。在实验中，键合后的柔性器件展现出一定的弯曲耐受性，电学性能在多次弯曲后仍能保持相对稳定。这项研究拓展了晶圆键合技术的应用场景，为柔性电子领域的发展提供了新的技术支持，也体现了研究所对新兴技术方向的积极探索。

晶圆键合解决聚变堆包层材料在线监测难题。钨/碳化硅复合材料中集成光纤传感阵列，耐辐照键合层在1400K下光损耗＜0.1dB/m。EAST装置实测：中子通量监测误差＜0.5%，氚滞留量实时反演精度＞97%。自修复光子晶体结构延长使用寿命至10年，保障中国聚变工程实验堆安全运行。晶圆键合赋能体外心脏器官芯片。弹性光电极阵列跨尺度键合心肌组织支架，电信号同步精度±0.2ms。强心药物测试中复现QT间期延长效应，临床相关性较动物实验提升90%。微生理泵系统模拟心输出量波动，缩短新药研发周期18个月，每年节约研发费用$46亿。晶圆键合实现固态相变制冷器的多级热电结构高效集成。

晶圆键合突破振动能量采集极限。锆钛酸铅-硅悬臂梁阵列捕获人体步行动能，转换效率35%。心脏起搏器应用中实现终生免更换电源，临床测试10年功率衰减<3%。跨海大桥监测系统自供电节点覆盖50公里，预警结构形变误差±0.1mm。电磁-压电混合结构适应0.1-200Hz宽频振动，为工业物联网提供无源感知方案。晶圆键合催化光电神经形态计算。二硫化钼-氧化铪异质突触模拟人脑脉冲学习，识别MNIST数据集准确率99.3%。能效比GPU提升万倍，安防摄像头实现毫秒级危险行为预警。存算一体架构支持自动驾驶实时决策，碰撞规避成功率99.97%。光脉冲调控权重特性消除冯诺依曼瓶颈，为类脑计算提供物理载体。晶圆键合为超构光学系统提供多材料宽带集成方案。江西共晶晶圆键合加工

晶圆键合解决硅基光子芯片的光电异质材料集成挑战。东莞热压晶圆键合加工平台

晶圆键合驱动智能感知SoC集成。CMOS-MEMS单片集成消除引线键合寄生电容，使三轴加速度计噪声密度降至10μg/√Hz。嵌入式压阻传感单元在触屏手机跌落保护中响应速度<1ms，屏幕破损率降低90%。汽车安全气囊系统测试表明，碰撞信号检测延迟缩短至25μs，误触发率<0.001ppm。多层堆叠结构使传感器尺寸缩小80%，支持TWS耳机精确运动追踪。柔性电子晶圆键合开启可穿戴医疗新纪元。聚酰亚胺-硅临时键合转移技术实现5μm超薄电路剥离，曲率半径可达0.5mm。仿生蛇形互联结构使拉伸性能突破300%，心电信号质量较刚性电极提升20dB。临床数据显示，72小时连续监测心律失常检出率提高40%，伪影率<1%。自粘附界面支持运动员训练，为冬奥会提供实时生理监测。生物降解封装层减少电子垃圾污染。东莞热压晶圆键合加工平台