纳米技术有很多种,基本上可以分成两类,一类是由下而上的方式或称为自组装的方式,另一类是由上而下所谓的微缩方式。前者以各种材料、化工等技术为主,后者则以半导体技术为主。以前我们都称 IC 技术是「微电子」技术,那是因为晶体管的大小是在微米(10-6米)等级。但是半导体技术发展得非常快,每隔两年就会进步一个世代,尺寸会缩小成原来的一半,这就是有名的摩尔定律(Moore’s Law)。到了 2001 年,晶体管尺寸甚至已经小于 0.1 微米,也就是小于 100 纳米。因此是纳米电子时代,未来的 IC 大部分会由纳米技术做成。但是为了达到纳米的要求,半导体制程的改变须从基本步骤做起。每进步一个世代,制程步骤的要求都会变得更严格、更复杂。在MOS场效应管的制作工艺中,多晶硅是作为电极材料(栅极)用的,用多晶硅构成电阻的结构。上海微透镜半导体器件加工
刻蚀的基本原理是利用化学反应或物理作用,将材料表面的原子或分子逐层去除,从而形成所需的结构。刻蚀可以分为湿法刻蚀和干法刻蚀两种方式。湿法刻蚀是利用化学反应溶解材料表面的方法。常用的湿法刻蚀液包括酸性溶液、碱性溶液和氧化剂等。湿法刻蚀具有刻蚀速度快、刻蚀深度均匀等优点,但也存在一些问题,如刻蚀剂的选择、刻蚀液的废弃物处理等。干法刻蚀是利用物理作用去除材料表面的方法。常用的干法刻蚀方式包括物理刻蚀、化学气相刻蚀和反应离子刻蚀等。干法刻蚀具有刻蚀速度可控、刻蚀深度均匀、刻蚀剂的选择范围广等优点,但也存在一些问题,如刻蚀剂的选择、刻蚀剂的损伤等。云南压电半导体器件加工公司热处理的第三种用途是通过加热在晶圆表面的光刻胶将溶剂蒸发掉,从而得到精确的图形。
半导体器件加工是指将半导体材料加工成具有特定功能的器件的过程。半导体器件加工是集成电路实现的手段,也是集成电路设计的基础。半导体器件加工包括光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等,其中光刻是关键步骤。光刻是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺,是半导体制造中很关键的步骤。光刻的目标是根据电路设计的要求,生成尺寸精确的特征图形,且在晶圆表面的位置要正确,而且与其他部件的关联也正确。通过光刻过程,然后在晶圆片上保留特征图形的部分。
半导体技术是指半导体加工的各种技术,包括晶圆的生长技术、薄膜沉积、光刻、蚀刻、掺杂技术和工艺整合等技术。半导体技术就是以半导体为材料,制作成组件及集成电路的技术。在周期表里的元素,依照导电性大致可以分成导体、半导体与绝缘体三大类。很常见的半导体是硅(Si),当然半导体也可以是两种元素形成的化合物,例如砷化镓(GaAs),但化合物半导体大多应用在光电方面。绝大多数的电子组件都是以硅为基材做成的,因此电子产业又称为半导体产业。半导体器件加工要考虑器件的故障排除和维修的问题。
半导体分类及性能:有机合成物半导体。有机化合物是指含分子中含有碳键的化合物,把有机化合物和碳键垂直,叠加的方式能够形成导带,通过化学的添加,能够让其进入到能带,这样可以发生电导率,从而形成有机化合物半导体。这一半导体和以往的半导体相比,具有成本低、溶解性好、材料轻加工容易的特点。可以通过控制分子的方式来控制导电性能,应用的范围比较广,主要用于有机薄膜、有机照明等方面。非晶态半导体。它又被叫做无定形半导体或玻璃半导体,属于半导电性的一类材料。在半导体器件加工中,晶圆是很常用的基材。天津微透镜半导体器件加工方案
刻蚀是半导体制造工艺以及微纳制造工艺中的重要步骤。上海微透镜半导体器件加工
半导体技术的演进,除了改善性能如速度、能量的消耗与可靠性外,另一重点就是降低其制作成本。降低成本的方式,除了改良制作方法,包括制作流程与采用的设备外,如果能在硅芯片的单位面积内产出更多的 IC,成本也会下降。所以半导体技术的一个非常重要的发展趋势,就是把晶体管微小化。当然组件的微小化会伴随着性能的改变,但很幸运的,这种演进会使 IC 大部分的特性变好,只有少数变差,而这些就需要利用其它技术来弥补了。半导体制程有点像是盖房子,分成很多层,由下而上逐层依蓝图布局迭积而成,每一层各有不同的材料与功能。上海微透镜半导体器件加工