安田丰技术(江苏)有限公司2026-07-06
标准型号主要针对圆形晶圆设计。对于方形或其他异形衬底,检测区域的扫描轨迹需要重新规划。部分设备支持方形片检测模式,可通过软件设定检测边界。建议在采购前确认是否需要处理异形衬底。
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