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该设备能否检测非圆形晶圆?

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安田丰技术(江苏)有限公司2026-07-06

标准型号主要针对圆形晶圆设计。对于方形或其他异形衬底,检测区域的扫描轨迹需要重新规划。部分设备支持方形片检测模式,可通过软件设定检测边界。建议在采购前确认是否需要处理异形衬底。

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简介:安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料,服务于AR和半导体行业,致力于提供高性能、高效率的解决方案
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