晶圆片Particle检测设备如何排除晶圆边缘的干扰信号？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-07-06

设备软件可设置边缘排除宽度，在此区域内的信号不参与统计。边缘倒角的散射较强，容易产生误报，排除后可使检测结果更关注有效区域。用户可根据工艺要求调整排除宽度，较窄的排除区保留更多边缘信息。

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简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

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