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广东华芯半导体技术有限公司2025-06-01
通过三级气体纯化系统（过滤 + 吸附 + 催化），氧含量可低至≤5ppm，配备激光式氧传感器实时监测（精度 ±0.5ppm）。广东华芯半导体技术有限公司的设备在腔体顶部设置气体采样口，可连接第三方检测设备进行离线校准。
本回答由 广东华芯半导体技术有限公司 提供
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联系人： 周小姐
手 机： 19022368597
