银浆无氧烤箱的腔体多久清洁一次？用什么清洁剂？

广东华芯半导体技术有限公司2025-10-30

清洁周期按使用频率定：每天 8 小时生产，每周清洁 1 次；24 小时连续生产，每 3 天清洁 1 次。清洁需用特定试剂：腔体内壁用 99.5% 异丙醇擦拭，去除银浆挥发残留；若有顽固结垢（如高温碳化痕迹），用中性除垢剂（pH7-8）浸泡抹布后擦拭，避免腐蚀 316L 不锈钢腔体；密封槽内用无尘布蘸取少量高温润滑脂（与密封圈兼容型号）擦拭，增强密封性。清洁后需空载运行烤箱（100℃，氮气流量 10L/min）30min，去除清洁剂残留。定期清洁可避免杂质污染银浆，确保固化质量稳定。广东华芯半导体技术有限公司可提供特定清洁剂与清洁工具套装。

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