垂直固化炉年能耗成本大概多少？

广东华芯半导体技术有限公司2025-10-25

常规 10 层垂直炉运行功率约 2-3kW，每天 8 小时生产，每度电 0.8 元，日均能耗 16-24kW・h，日电费 12.8-19.2 元；若开启真空与惰性气体功能，日均能耗增至 25-35kW・h，日电费 20-28 元。加上真空泵油、密封圈等耗材，年能耗成本约 5000-8000 元，比卧式炉节能 20%-30%（卧式炉年成本约 7000-11000 元）。广东华芯半导体技术有限公司的垂直固化炉，采用节能加热管，可进一步降低能耗。

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