银浆无氧烤箱能同时固化不同尺寸的基板吗？需注意什么？

广东华芯半导体技术有限公司2025-10-30

能，但需满足尺寸差≤50mm（如 50mm×50mm 与 100mm×100mm 可同批），且需注意三点：选用可调式定位治具，通过卡扣固定不同尺寸基板，确保基板间距≥20mm，避免气流受阻导致温度不均；在小尺寸基板下方垫 0.5-1mm 厚导热垫片，补偿小基板受热快的差异，使两类基板温度偏差≤±0.8℃；固化时间按大尺寸基板参数设定（如大基板需 30min，小基板也按 30min 固化），避免小基板固化过度。同批固化后需分别检测两类基板的银层性能，确保均达标。广东华芯半导体技术有限公司可提供可调式定位治具，适配多尺寸同批固化。

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