广东华芯半导体技术有限公司2025-06-01
采用标准化的装载治具和气流仿真模型,同一工艺参数下多次运行的温度曲线重合度≥98%。广东华芯半导体技术有限公司提供工艺验证报告,包含温度均匀性测试(UTA)和气体浓度分布测试(GDA)数据。
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