晶圆片Particle检测设备能否检测SOI晶圆？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-07-07

可以检测SOI晶圆表面的颗粒。SOI晶圆由顶层硅、埋氧层和衬底硅组成，顶层硅较薄，检测方法与普通硅片类似。需要注意的是，埋氧层与顶层硅的界面反射特性与均匀硅片有所不同，可能需要调整检测参数。

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简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

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